Buses en céramique résistantes aux hautes températures pour des températures de processus de 1200 °C dans l'industrie des LED

Spécialement développé pour les processus de fabrication de LED, ce produit est fabriqué à partir de nitrure de silicium (Si₃N₄) de haute pureté à 99,8 % grâce à un frittage précis par pression de gaz. Offrant une propreté ultra-élevée, une résistance aux hautes températures et une résistance à la corrosion pour répondre aux exigences strictes des équipements MOCVD.

Applications dans la fabrication de LED

• Équipement MOCVD : distribution précise de la source MO et du gaz NH₃

• Croissance épitaxiale : injection uniforme de gaz dans les chambres de réaction

• Fabrication de puces : systèmes de distribution de gaz de protection

• Processus d'encapsulation : atomisation par pulvérisation de phosphore

• Équipement de test : contrôle du gaz par inspection optique

Avantages pour l'industrie des LED

✓ Propreté ultra-élevée : teneur en ions métalliques <1 ppm
✓ Résistance aux hautes températures : résiste à des températures de processus de 1200 °C✓ Zéro contamination gazeuse : aucune émission de particules
✓ Contrôle précis du débit : précision du débit de ±1 %
✓ Durée de vie prolongée : supporte plus de 5000 cycles thermiques
Paramètres spécifiques aux LED

Paramètre

Préparation du matériau :

1. Poudre nano (D50≤0,3 µm)

   • Broyage à boulets sans poussière (salle blanche de classe 10)

   • Mise en forme et frittage :

2. Pressage isostatique (200 MPa)

   • Frittage ultra-propre (environnement de classe 100)

   • Post-traitement :

3. Nettoyage au plasma (décontamination de surface)

   • Nettoyage à l'eau DI par ultrasons

   • Emballage :

4. Emballage sous vide double

   • Sacs propres ISO Classe 4

   • Consignes d'utilisation

⚠ Installation : fonctionnement en salle blanche de classe 100 requis

⚠ Contrôle du gaz : utiliser des gaz de haute pureté à 99,999 %
⚠ Gestion de la température : vitesse de chauffage ≤5 °C/min
⚠ Maintenance : test de fuite à l'hélium toutes les 500 heures
Services spécialisés

Garantie prolongée : 18 mois

• Tests de propreté : test gratuit d'émission de particules

• Réponse rapide : assistance technique en 12 heures

• Optimisation des processus : simulation du champ d'écoulement des gaz

• FAQ

Q : Comment garantir la pureté de la distribution de la source MO ?

R : Trois mesures de protection :
① Passivation de la surface en Si
② Emballage propre de classe 100
③ Nettoyage au plasma avant l'installation
Q : Comment gérer l'obstruction des buses ?

R : Recommandé :
• Nettoyage aux ultrasons de 200 W + eau DI
• Pas de nettoyage mécanique à la tige
• Service de nettoyage professionnel disponible
Q : Compatibilité avec différentes couches épitaxiales ?

R : Options personnalisables :
Structures matricielles à trous multiples

• Conceptions de tailles d'alésage graduelles

• Configurations d'angle spéciales