I. Aperçu
Les systèmes d'ultrafiltration (UF) jouent un rôle clé de prétraitement dans la préparation d'eau ultrapure (UPW) pour l'électronique et les semi-conducteurs en éliminant efficacement les particules, les colloïdes et les micro-organismes, en protégeant l'osmose inverse (OI) et les résines échangeuses d'ions qui suivent, et en garantissant que l'eau produite respecte la norme de résistivité de 18,2 MΩ-cm.
II. Processus principal
Eau municipale/Eau de surface → Filtration multimédia → Adsorption sur charbon actif → Système d'ultrafiltration → Osmose inverse (OI) → EDI/CDI → Lit mixte de polissage → Eau ultrapure
III. Paramètres principaux du système d'ultrafiltration
Paramètre | Norme de qualité électronique | Comparaison de qualité industrielle générale | ||||
Matériau de la membrane | PVDF (Modification hydrophile) | PES général | ||||
Taille des pores | 0,01–0,03 μm | 0,05–0,1 μm | ||||
SDI15 de l'eau produite | ≤1,0 | ≤3,0 | ||||
Taux d'élimination du COT | >50% (Eau d'entrée <100 ppb) | <30% | ||||
Contrôle des bactéries | <1 UFC/100mL | <10 UFC/mL |
IV. Points clés pour la sélection de l'équipement
Type de composant | Avantages | Scénarios applicables | |||||
Fibre creuse à pression externe | Flux élevé (60-100 LMH), facile à nettoyer | Usine de fabrication de plaquettes à grande échelle (≥1000 tonnes/jour) | |||||
Membrane spirale à pression interne | Structure compacte, faible volume mort | Usine d'emballage de semi-conducteurs à petite échelle | |||||
Membrane d'ultrafiltration céramique | Résistant au nettoyage à l'acide/alcali fort (pH 1-14), durée de vie de 10 ans | Sources d'eau avec des risques élevés de COT/métaux lourds |
V. Les systèmes d'ultrafiltration sont triples irremplaçables dans la préparation d'eau ultrapure pour semi-conducteurs
Rigueur :
la seule technologie qui répond simultanément aux exigences SDI<1, COT<2 ppb et bactérien <1 UFC
Optimisation économique :
40 % de réduction du coût total de possession par rapport au prétraitement chimique pur (analyse du LCOE sur 10 ans)
Garantie du processus :
Garantit un taux de défauts de <0,1 défauts/cm² pour les processus avancés jusqu'à 28 nm
VI. Voici un guide pour obtenir un devis approprié
Indiquez-nous la source d'eau brute (eau du robinet, eau de puits ou eau de mer, etc.)
Fournir un rapport d'analyse de l'eau (TDS, conductivité ou résistivité, etc.)
Capacité de production requise (5 m³/H, 50 m³/H ou 500 m³/H, etc.)
À quoi sert l'eau pure (industrielle, alimentation et boissons ou agriculture, etc.)