Les spécifications
Application du projet :
pour la croissance des cristaux 4h-n sic
Définition

 

Résumé

 

Le carbure de silicium (SiC), un semi-conducteur à large bande passante de troisième génération, domine les marchés de haute température, haute fréquence et haute puissance, y compris les véhicules électriques, la 5G et les énergies renouvelables.Je suis désolée.Poudre de siliciumpour le SiCest une source spécialisée de silicium ultra-pur conçue pour la croissance des cristaux de SiC et la fabrication de dispositifs.technologie de CVD assistée par plasma, il fournit:

  • Pureté ultra-haute: impuretés métalliques ≤ 1 ppm, oxygène ≤ 5 ppm (conformément aux normes ISO 10664-1).
  • Taille de particule tailorable: D50 d'une largeur de 0,1 à 5 μm avec une distribution étroite (PDI < 0,3).
  • Réactivité supérieure: les particules sphériques améliorent l'activité chimique, augmentant les taux de croissance du SiC de 15 à 20%.
  • Conformité environnementale: certifié RoHS 2.0/REACH, non toxique et sans risque de résidus.
     

Contrairement aux poudres de silicium métallurgiques conventionnelles, notre produit utilise la dispersion à l'échelle nanométrique et la purification du plasma pour réduire la densité des défauts, permettant une production efficace de plaquettes SiC de 8 pouces et plus.

 


 

Compagnie Introduction

 

Notre société, ZMSH, est un acteur important dans l'industrie des semi-conducteurs depuisdepuis plus d'une décennieNous sommes spécialisés dans la fourniture de solutions sur mesure pour les plaquettes de saphir.offrant à la fois des conceptions sur mesure et des services OEM pour répondre aux divers besoins des clientsChez ZMSH, nous nous engageons à livrer des produits qui excellent à la fois en prix et en qualité, assurant la satisfaction des clients à chaque étape.Nous vous invitons à nous contacter pour plus d'informations ou pour discuter de vos besoins spécifiques.

 

 


 

Poudre de silicium Paramètres techniques

 

ParamètreJe suis désolée. Je suis désolée.PortéeJe suis désolée. Je suis désolée.MéthodeJe suis désolée. Je suis désolée.Valeur typiqueJe suis désolée.
Purification (Si) ≥ 99,9999% Le système ICP-MS/OES 99.99995%
Impuretés métalliques (Al/Cr/Ni) ≤ 0,5 ppm (total) SESM-EDS 0.2 ppm
Oxygène (O) ≤ 5 ppm LECO TC-400 est une 30,8 ppm
Le carbone (C) ≤ 0,1 ppm LECO TC-400 est une 00,05 ppm
Taille des particules (D10/D50/D90) 0.05 ∼2.0 μm à régler Le Malvern Mastersizer 3000 1.2 μm
Surface spécifique (SSA) 10 ‰ 50 m2/g BET (adsorption de N2) 35 m2/g
Densité (g/cm3) 2.32 (densité réelle) Pycnomètre 2.31
pH (solution aqueuse à 1%) 6.5 ¢7.5 Le pH-mètre 7.0

 

 


 

Poudre de SiC Applications

 

1. Croissance des cristaux de siliciumJe suis désolée.

  • Je suis désolée.Procédure: PVT (transport par vapeur) /LPE (épitaxie en phase liquide)
  • Je suis désolée.Le rôle: Une source de Si de haute pureté réagit avec des précurseurs de carbone (C2H2/CH4) à > 2000°C pour former des noyaux de SiC.
  • Je suis désolée.Les avantages: Une faible teneur en oxygène réduit au minimum les défauts de bordure des grains; une taille de particule uniforme améliore le taux de croissance de 15 à 20%.

Je suis désolée.2. MOCVD Dépôt épitaxialJe suis désolée.

  • Je suis désolée.Procédure: CVD métal-organique (MOCVD)
  • Je suis désolée.Le rôle: source de dopage pour les couches de SiC de type n/p.
  • Je suis désolée.Les avantages: Le matériau ultrapur empêche la contamination de la couche épitaxienne, atteignant une densité de piège électronique < 1014 cm−3.

Je suis désolée.3. CMP PolissageJe suis désolée.

  • Je suis désolée.Procédure: Planarisation chimique mécanique
  • Je suis désolée.Le rôle: réagit avec le substrat SiC pour former du SiO2 soluble pour lisser la surface.
  • Je suis désolée.Les avantages: Les particules sphériques réduisent le risque de rayures; la vitesse de polissage augmente de 3x par rapport aux boues d'alumine.

Je suis désolée.4- Énergie renouvelable et photovoltaïqueJe suis désolée.

  • Je suis désolée.Applications: trous transportant des couches dans des cellules solaires en pérovskite, additifs électrolytiques à l'état solide.
  • Je suis désolée.Les avantages: Une SSA élevée améliore la dispersion du matériau, réduisant la résistance de l'interface.

 


 

Affichage du produit - ZMSH

    

   Poudre abrasive au carbure de silicium pour la croissance des cristaux SIC     Poudre abrasive au carbure de silicium pour la croissance des cristaux SIC

 


 

Poudre de SiCFAQ. Je vous en prie.

 

Q: Comment la pureté du silicium affecte-t-elle les performances des appareils SiC?

A: Je suis désolé.Les impuretés (par exemple, Al, Na) créent des défauts de niveau profond, augmentant la recombinaison des transporteurs.

 

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Poudre abrasive au carbure de silicium pour la croissance des cristaux SIC
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Type d'entreprise :
Manufacturer, Agent, Importer, Exporter, Trading Company
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