Le Miroir en carbure de silicium (SiC) est un composant optique haute performance conçu pour les applications qui exigent une rigidité, une stabilité thermique et une précision optique exceptionnelles. Fabriqués à partir de céramiques SiC avancées, ces miroirs combinent une structure ultra-légère avec une résistance mécanique supérieure et une excellente conductivité thermique, ce qui les rend idéaux pour l'optique aérospatiale, les télescopes astronomiques, les systèmes laser et les équipements de semi-conducteurs.
Comparés aux miroirs traditionnels en verre ou en métal, les miroirs SiC présentent une stabilité dimensionnelle exceptionnelle sur une large plage de températures et permettent des performances optiques précises, même dans des conditions environnementales extrêmes telles que le vide, les basses températures ou le fonctionnement à haute température.

Les miroirs en carbure de silicium sont produits à l'aide des techniques de CVD (Dépôt Chimique en Phase Vapeur) ou de frittage à liaison réactive (RB-SiC).
Formation du matériau de base : De la poudre fine de SiC est façonnée en un substrat léger par moulage de précision ou fabrication additive.
Frittage et densification : Le substrat est fritté à haute température pour obtenir une densité proche de la densité théorique et une rigidité supérieure.
Revêtement CVD SiC : Une fine couche de CVD SiC est déposée pour améliorer la douceur et la réflectivité de la surface tout en maintenant une dureté et une résistance à la corrosion élevées.
Polissage de précision : La surface du miroir est polie pour obtenir une rugosité de niveau nanométrique (Ra < 1 nm), garantissant une précision optique exceptionnelle.
Cette architecture hybride (RB-SiC + CVD SiC) combine les avantages de la faible masse, de la rigidité élevée et de la finition de surface de qualité optique.
Conception ultra-légère : Le rapport rigidité/poids élevé permet des miroirs plus minces et plus grands avec une masse réduite.
Excellente conductivité thermique : La dissipation rapide de la chaleur empêche la distorsion causée par les gradients de température.
Rigidité spécifique élevée : Maintient la précision de la figure optique dans des environnements dynamiques ou vibratoires.
Qualité de surface supérieure : Atteint une rugosité du miroir inférieure à 1 nm RMS, adaptée aux longueurs d'onde UV, visibles et IR.
Résistance chimique et aux radiations : Stable sous vide, rayonnement et atmosphères chimiques agressives.
Personnalisable : Disponible en géométries plates, sphériques, paraboliques et asphériques.
Télescopes spatiaux et astronomiques : Miroirs légers pour les systèmes d'observation par satellite et dans l'espace lointain.
Optique laser haute puissance : Optique réfléchissante dans les systèmes laser CO₂, YAG et à fibres.
Systèmes d'imagerie infrarouge : Imagerie thermique et optique de réflexion IR à ondes longues.
Traitement des semi-conducteurs : Composants optiques dans les systèmes de lithographie, d'inspection et d'alignement des plaquettes.
Systèmes de défense et aérospatiaux : Miroirs de précision pour le ciblage, le balayage et la direction du faisceau.
| Paramètre | Valeur |
|---|---|
| Matériau | SiC à liaison réactive ou CVD |
| Densité | 3,15 g/cm³ |
| Module de Young | 410 GPa |
| Conductivité thermique | 120–200 W/m·K |
| Coefficient de dilatation thermique (CTE) | 2,2×10⁻⁶ /K |
| Rugosité de surface (Ra) | < 1 nm |
| Revêtement réfléchissant | Aluminium, or ou argent protégé |
| Tailles disponibles | Ø10 mm à Ø1000 mm (personnalisable) |
Q1 : Quels sont les principaux avantages des miroirs SiC par rapport aux miroirs en verre ?
R1 : Les miroirs SiC sont beaucoup plus légers, plus rigides et plus stables thermiquement, ce qui permet une imagerie de haute précision et une déformation minimale dans des environnements thermiques variables.
Q2 : Les miroirs SiC peuvent-ils être utilisés dans des systèmes cryogéniques ou sous vide ?
R2 : Oui. Le SiC fonctionne parfaitement à des températures extrêmes et dans des conditions de vide, ce qui le rend idéal pour les systèmes optiques spatiaux et infrarouges.
Q3 : Quels revêtements de surface sont disponibles ?
R3 : Les revêtements courants comprennent l'aluminium, l'argent et l'or protégés pour optimiser la réflectivité pour des plages de longueurs d'onde spécifiques.
Q4 : Les géométries personnalisées sont-elles prises en charge ?
R4 : Oui. Les miroirs peuvent être produits sous forme de surfaces plates, sphériques, paraboliques ou de forme libre, en fonction des exigences de conception optique.