Taille personnalisée/2 pouces/3 pouces/4 pouces/6 pouces 6H-N/4H-SEMI/ 4H-N lingots SIC/haute pureté 4H-N 4 pouces 6 pouces de diamètre 150mm plaquettes de substrats monocristallins en carbure de silicium (sic)S/Semi-résistivité 4H non dopée de haute pureté> 1E7, plaquettes sic de 3 pouces, 4 pouces, 0,35 mm
À propos du cristal de carbure de silicium (SiC)
Le carbure de silicium (SiC), également connu sous le nom de carborundum, est un semi-conducteur contenant du silicium et du carbone de formule chimique SiC. Le SiC est utilisé dans les dispositifs électroniques à semi-conducteurs qui fonctionnent à des températures élevées ou à des tensions élevées, ou les deux. Le SiC est également l'un des composants importants des LED, c'est un substrat populaire pour la croissance des dispositifs GaN, et il sert également de dissipateur de chaleur dans les environnements à haute température. LED d'alimentation.
Propriété | 4H-SiC, monocristal | 6H-SiC, monocristal |
Paramètres de réseau | a=3,076 Å c=10,053 Å | a=3,073 Å c=15,117 Å |
Séquence d'empilement | ABCB | ABCACB |
Dureté de Mohs | ≈9,2 | ≈9,2 |
Densité | 3,21 g/cm3 | 3,21 g/cm3 |
Thermie. Coefficient de dilatation | 4-5×10-6/K | 4-5×10-6/K |
Indice de réfraction à 750 nm |
non = 2,61 |
non = 2,60 |
Constante diélectrique | c ~ 9,66 | c ~ 9,66 |
Conductivité thermique (type N, 0,02 ohm.cm) |
a~4,2 W/cm·K@298K |
|
Conductivité thermique (semi-isolant) |
a~4,9 W/cm·K@298K |
a~4,6 W/cm·K@298K |
Bande interdite | 3,23 eV | 3,02 eV |
Champ électrique de panne | 3-5×106V/cm | 3-5×106V/cm |
Vitesse de dérive de saturation | 2,0 × 105 m/s | 2,0 × 105 m/s |
Spécification du substrat en carbure de silicium (SiC) de 2 pouces de diamètre | ||||||||||
Grade | Zéro MPD | Qualité de production | Niveau de recherche | Qualité factice | ||||||
Diamètre | 100, mm ± 0,38 mm | |||||||||
Épaisseur | 350 μm±25μm ou 500±25um ou autre épaisseur personnalisée | |||||||||
Orientation de la plaquette | Sur axe : <0001>±0.5° pour 4h-semi | |||||||||
Densité des microtuyaux | ≤1 cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤10cm-2 | ≤30 cm-2 | ||||||
Résistivité | 4H-N | 0,015~0,028 Ω•cm | ||||||||
6H-N | 0,02~0,1 Ω•cm | |||||||||
4h-semi | ≥1E7 Ω·cm | |||||||||
Appartement principal | {10-10}±5,0° | |||||||||
Longueur à plat primaire | 18,5 mm ± 2,0 mm | |||||||||
Longueur plate secondaire | 10,0 mm ± 2,0 mm | |||||||||
Orientation plate secondaire | Silicium face vers le haut : 90° CW. à partir du premier plat ±5,0° | |||||||||
Exclusion de bord | 1 mm | |||||||||
TTV/Arc/Warp | ≤10μm /≤15μm /≤30μm | |||||||||
Rugosité | Polonais Ra≤1 nm | |||||||||
CMP Ra≤0,5 nm | ||||||||||
Fissures causées par une lumière de haute intensité | Aucun | 1 autorisé, ≤2 mm | Longueur cumulée ≤ 10 mm, longueur unique ≤ 2 mm | |||||||
Plaques hexagonales par lumière haute intensité | Superficie cumulée ≤1% | Superficie cumulée ≤1% | Superficie cumulée ≤3% | |||||||
Zones polytypes par lumière de haute intensité | Aucun | Superficie cumulée ≤2% | Superficie cumulée ≤5% | |||||||
Rayures causées par une lumière de haute intensité | 3 rayures sur 1 × longueur cumulée du diamètre de la plaquette | 5 rayures sur 1 × longueur cumulée du diamètre de la plaquette | 5 rayures sur 1 × longueur cumulée du diamètre de la plaquette | |||||||
puce de bord | Aucun | 3 autorisés, ≤0,5 mm chacun | 5 autorisés, ≤1 mm chacun | |||||||
Applications :
1) Dépôt de nitrure III-V
2)Dispositifs optoélectroniques
3)Appareils haute puissance
4)Appareils à haute température
5)Dispositifs d'alimentation haute fréquence
Électronique de puissance :
Appareils RF et micro-ondes :
Dispositifs LED et optoélectroniques :
Applications à haute température :
Recherche et développement :
Spectacle de production
Type 4H-N / Plaquette/lingots SiC de haute pureté
Plaquette/lingots SiC de type N 4H de 2 pouces
Plaquette SiC de type N 4H de 3 pouces Plaquette/lingots SiC de type N 4H 4 pouces Plaquette/lingots SiC de type N 4H 6 pouces |
Plaquette SiC semi-isolante / haute pureté 4H Plaquette SiC semi-isolante 4H de 2 pouces
Plaquette SiC semi-isolante 4H de 3 pouces Plaquette SiC semi-isolante 4H de 4 pouces Plaquette SiC semi-isolante 4H de 6 pouces |
Plaquette SiC 6H de type N
Plaquette/lingot SiC de type N 6H de 2 pouces |
Taille personnalisée pour 2-6 pouces
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Applications SiC
Domaines d'application
>Emballage – Logistique
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