Unité conductrice de revêtement de film de la couche mince d'or de magnétron de pulvérisation de machine de revêtement de cuivre/Cu en nylon de textile
1. dispositif d'enduction en nylon de vide de pulvérisation de magnétron d'en cuivre de textile
1) La contrôlabilité d'épaisseur de film et la répétabilité bonne, peuvent être un système fiable de l'épaisseur plaquée d'avance des films et de la pulvérisation dans une plus grande surface de film uniforme ;
2) L'adhérence du film et du substrat est très bien. Une partie de la haute énergie des atomes pulvérisés pour produire différents niveaux de phénomène d'injection, couche de pseudo-diffusion formée sur la couche de substrat d'atomes pulvérisés et d'atomes de substrat a fondu les uns avec les autres ;
3) Préparation du matériel spécial du film, vous pouvez employer différents matériaux et le film hybride de pulvérisation, film composé, peut également être pulvérisé dans le film d'or d'imitation de bidon.
2. Caractéristiques en nylon de dispositif d'enduction de vide de pulvérisation de magnétron d'en cuivre de textile
Machine de revêtement de pulvérisation de magnétron | ||||||
Représentation | RTSP-700 | RTSP-900 | RTSP-1000 | RTSP-1250 | RTSP-1400 | RTSP -1600 |
Taille de chambre de revêtement | 700*H900mm | 900*H1100mm | 1000*H1200mm | 1250*H1350mm | 1400*H1600mm | 1600*H1800mm |
Type d'alimentation d'énergie | Alimentation d'énergie de filament, alimentation d'énergie de polarisation d'impulsion, alimentation d'énergie de magnétron de C.C, alimentation d'énergie de magnétron de fréquence intermédiaire, alimentation d'énergie de magnétron de radiofréquence, source linéaire d'ionisation | |||||
Structure de puits à dépression | Porte à deux battants verticale, structure d'entrée principale verticale, dispositif d'échappement arrière d'air | |||||
Matériel de puits à dépression | Cavité de haute qualité d'acier inoxydable | |||||
Vide de limite | 6.0*10-4Pa | |||||
Temps de pompe-vers le bas (à vide) | Pompez l'atmosphère aux minutes de 8.0*10-3>Pa ≤15 | |||||
Système d'acquisition de vide | La pompe de diffusion ou la pompe + les racines moléculaires pompent + pompe mécanique + pompe de palette rotatoire (le modèle spécifique peut être configuré selon les besoins des clients) | |||||
Mode de revêtement | Revêtement de pulvérisation de magnétron | |||||
Genre pellicule | Film de film métallique et réactif, film composé, film multicouche et film de semi-conducteur | |||||
Type de cible de magnétron | Cible rectangulaire de magnétron, cible cylindrique de magnétron et cibles jumelles de magnétron | |||||
Puissance d'offre de magnétron et nombre de cibles de magnétron | Choisissez selon le différents processus et besoins des clients de revêtement | |||||
Alimentation d'énergie polarisée | Unité 10KW/1 | Unité 20KW/1 | Unité 20KW/1 | Unité 30KW/1 | Unité 40KW/1 | 50KW/1unit |
Mode tournant de plaque tournante d'objet | Révolution et autorotation planétaires, règlement variable de vitesse de fréquence (contrôlable et réglable) | |||||
Gaz de processus | 3-path ou contrôle de flux de gaz de processus de 4 chemins et système d'affichage, système de gazéification automatique sélectif | |||||
Mode de refroidissement | Mode de refroidissement de circulation de l'eau, tour d'eau de refroidissement ou système de refroidissement de refroidisseur d'eau ou profond industriel. (Fourni par des clients) | |||||
Mode de contrôle | Manuel/mode d'intégration, opération d'écran tactile, gestion par ordinateur automatique de PLC ou | |||||
Puissance totale | 30KW | 35KW | 40KW | 50KW | 65KW | 80KW |
Alarme et protection | Manque d'eau d'alarme, surintensité et surtension, circuit ouvert et d'autres conditions anormales des pompes, cibles et ainsi de suite et exécuter des mesures de sauvegarde appropriées et la fonction de couplage électrique | |||||
Région d'équipement | W2m*L3m | W2.5m*L3.5m | W3m*L4m | W4m*L5m | W4.5m*L6m | W5m*L7m |
D'autres paramètres techniques | Pression d'eau ≥0.2MPa, température de l'eau ≤25°C, pression atmosphérique : 0.5-0.8MPa | |||||
Remarques | La configuration spécifique de l'équipement de revêtement peut être conçue selon des conditions de processus d'enduire des produits |
Échantillon en nylon de métallisation sous vide de pulvérisation de magnétron d'en cuivre de textile
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