Machine de revêtement de pulvérisation de machine/magnétron de métallisation sous vide de PVD, machine de revêtement métallurgique de pvd
Cette machine convient au système de métallisation sous vide de production industrielle. Elle équipe une grande source d'évaporation d'ion d'arc de plaine de taille et peut haute performance de deposite dur de film métallique par technologie d'évaporation d'arc, telle que l'étain, le TiCN, l'AlTiN et toutes sortes de l'autre film spécial selon les exigences de client.
DLC enduisant (carbone diamantaire) est la combinaison du diamant (SP3) et du graphite (SP2). Les propriétés physiques et chimiques de DLC sont intermédiaires à celle du diamant et du graphite
Caractéristiques
MODÈLE | RTAS1000 | |||||||
TECHNOLOGIE | électrodéposition + magnétron d'arc pulvérisant + source d'ions | |||||||
MATÉRIEL DE CHAMBRE | Acier inoxydable (S304) | |||||||
TAILLE DE CHAMBRE | Φ1000*1000mm (h) | |||||||
TYPE DE CHAMBRE | Chambre d'octaèdre régulier, 2 portes | |||||||
SUPPORT DE ROTATION ET SYSTÈME DE GABARIT | 6 (8) satellites, poids maximal : 400kgs | |||||||
ALIMENTATIONS D'ÉNERGIE | Quantité. de la pulvérisation : Polarisation du kilowatt 2*24 d'alimentation d'énergie : alimentation d'énergie de 1*24W EA pour des ensembles de l'approvisionnement 2 d'Ion Source Power d'option, alimentation d'énergie des EA pour l'option | |||||||
MATÉRIEL DE DÉPÔT | Ti, Zr, TiAl, Cu, Au | |||||||
SOURCE DE DÉPÔT |
cathodes de pulvérisation de 2 paires (4 morceaux) + 6 arcs Secteur de revêtement : Dia800mm*H550mm ; |
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CONTRÔLE | PLC (contrôleur programmable de logique) + écran tactile (modèles d'opération semi-automatiques de manual+ auto+) | |||||||
SYSTÈME DE POMPE | Vane Pump rotatoire : SV300B - 1 ensemble (Leybold) | |||||||
Les racines pompent : WAU1001 - 1 ensemble (Leybold) | ||||||||
Tenir la pompe : D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
Pompe moléculaire de suspension de rotor de Magnetric : MAG2200 - 2 ensembles (Leybold) | ||||||||
INTOXIQUEZ LE CONTRÔLEUR D'ÉCOULEMENT DE LA MASSE | 3 canaux, fabriqués en Amérique (marque de MKS) | |||||||
MESURE DE VIDE | Modèle : ZDF-X-LE, fabriqué en Chine | |||||||
Ion Source linéaire | 2 morceaux traitant préalablement, plasma nettoyant + dépôt aidé | |||||||
SYSTÈME DE SÛRETÉ | Contacts de sécurité nombreux pour protéger les opérateurs et l'équipement | |||||||
CHAUFFAGE | Appareils de chauffage : 20KW. Temp de maximum. : 400℃ | |||||||
REFROIDISSEMENT | Réfrigérateur industriel (eau froide) | |||||||
MAXIMUM DE PUISSANCE. | 100KW (approximativement) | |||||||
PUISSANCE MOYEN | 45 kilowatts (approximativement) | |||||||
POIDS BRUT | T (approximativement) | |||||||
COPIE DE PIED | (L*W*H) 4000*4000 *4000 MILLIMÈTRE | |||||||
PUISSANCE ÉLECTRIQUE | C.A. 380V/3 phases/50HZ |