Usine de revêtement de pulvérisation de Ni PVD, vide de Cr métallisant le système, équipement d'électrodéposition de vide de /Ag de Sn, usine de cuivrage

Structure d'équipement :

La machine de RTAC1215-SP est un type octcal, qui se composant des pompes à vide, du puits à dépression qui ont monté 8 cathodes d'arc, de 1 source d'ions linéaire, de 2 ensembles de cathodes de pulvérisation de C.C et de 1 paire de cathodes de pulvérisation de MF.  La source d'ions, cathodes de pulvérisation a monté les brides standized qui peuvent être échangées flexiblely basées sur la demande du processus réellement de revêtement.

Applications :

1. Industrie de DPC pour les pièces de scellage en céramique, processus de DPC, système de cuivre de pulvérisation de PVD, LED Chips With Cooper Plating en céramique, Al₂ O₃, cartes en céramique d'AlN, plats Al2O3 sur LED, semi-conducteur

2. argent, Ni, Chrome, or, aluminium, films et étain en métal dedans, du Sn etc., TiAlN, tic, TiO, centre de détection et de contrôle, CrCN, CrN etc.

Avantages :

1. Production rentable

2. Humanisation du poste de travail (conception ergonomique du poste de travail, de la minimisation de l'espace, du bruit et du danger de l'accident)

3. Rendement de haute qualité.

4. Adhérence forte avec le dispositif de réchauffement et le nettoyage puissants de source de plasma ;

5. Design compact et avec facile d'accès pour des travaux d'évolution et d'entretien.

6. Entièrement automation, écran de PLC+Touch, système de contrôle d'un-contact.

7. Rendement élevé avec moins de puissance, économiser de coût de production du maximum 50%.

Spécifications techniques :

• Représentation

1. Pression finale de vide : meilleur que la PA 9.0*10-5 ;

• Pression basse de vide : PA 3.0*10-2

3. Temps d'arrêt de pompage : de l'atmosphère à la chambre de minutes de 1.0×10-3 Pa≤15 (température ambiante, sec, propre et vide)

4. Source de dépôt : Les cathodes de pulvérisation de magnétron de Gencoa, ont orienté des cathodes d'arc, source d'ions

5. Modèle fonctionnant : Complètement automatiquement /Semi-Auto/ manuellement

6. Chauffage : de la température ambiante jusqu'à 500℃ maximal,

9. Source d'ions pour le processus de PECVD et de PA PVD.

• Structure

La machine de métallisation sous vide contient accompli le système principal énuméré ci-dessous :

1. Puits à dépression
1,1 taille : Diamètre intérieur : 1200mm

Taille intérieure : 1500mm

1,2 matériel : Puits à dépression SUS304

Porte et brides SUS304

La chambre renforcent la structure : Acier SS41 doux, avec la préparation de surface de finition peinte.

Acier doux du châssis SS41 de chambre avec la préparation de surface de finition peinte.

1,3 bouclier de chambre : SUS304

1,4 fenêtre de vue : 2 sur la porte

1,5 clapet de mise à l'air libre de puits à dépression (silencieux y compris)

1,6 porte : Matériel SUS304

2. Système de pompage de vide de dégrossissage :
Pompe à vide de palette rotatoire d'huile + tenant la pompe

• Système de pompage de vide poussé :

Par magnétisme pompe moléculaire de suspension - 2 ensembles

4. Système électrique de ScreenOperation de contact du système de commande et d'opération PLC+ :

Fournisseurs :

PLC : Mitsubishi + écran tactile (fabriqué en Chine)

Composants électroniques : SCHNEIDER, OMRON.

Système protecteur de sécurité : Contacts de sécurité nombreux pour protéger les opérateurs et l'équipement (l'eau, gaz actuel, température etc.)

Système de revêtement de processus : Automatisation des processus et contrôle.

4,1 circuit principal : commutateur de briseur d'Aucun-fusible, commutateur électromagnétique, type de C/T en série

4,2 alimentation d'énergie : Alimentation de puissance d'arc de puissance + de C.C de pulvérisation de DC/MF + d'énergie de polarisation

4,3 système de contrôle de dépôt

4,4 système d'opération : Écran tactile + PLC, contrôle de recette et enregistrement de données, arrêt automatique, évacuation automatique, revêtement automatique

4,5 système de mesure

Pression de vide : Mesure de vide : Pirani + parquant la mesure + mesure de vide de gamme complète -- Marque de l'Europe

Appareil de mesure de la température : Thermocouple
Cpc : Contrôleur d'écoulement de la masse (4 manières),

4,6 système d'alarme : Pression d'air comprimé, écoulement d'eau de refroidissement, Mis-opération

4,7 indicateur de charge de puissance : Indicateur de tension et indicateur actuel de charge

5. système de dépôt

5,1 source de dépôt : Sources + Ion Source d'arc de la pulvérisation cathodes+

5,2 matériel de dépôt : Cuivre, aluminium, Chrome, argent, or, solides solubles, etc. titanique.

6. Sous-système

6,1 système de contrôle comprimé de valve d'air

6,2 circuit de refroidissement de refroidissement : Système de valve de tuyau et de commutateur d'écoulement d'eau

• Environnement de travail

Air comprimé : 5~8kg/cm2

L'eau de refroidissement : Eau-dans la température : 20~25℃, 200 litres/minute,
Eau-dans la pression : 2~3 kg/cm2,

Puissance : 3 phase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, puissance moyen : 60KW

Région d'installation : (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Échappement : Conduit pour les pompes mécaniques

Veuillez nous contacter avec plus de caractéristiques, assistance technologique royale vous avec les solutions de revêtement totales.