Machine de dépôt par pulvérisation magnétron en métal pur DC, machine de dépôt de film ultra mince cuivre/argent/or/graphite

Performance

1. Pression de vide ultime : meilleure que 5,0 × 10^-6Torr.

2. Pression de vide de fonctionnement : 1,0 × 10^-4Torr.

3. Temps de pompage : de 1 atm à 1,0×10^-4Torr≤ 3 minutes (température ambiante, chambre sèche, propre et vide)

4. Matériau de métallisation (pulvérisation + évaporation à l'arc) : Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, etc.

5. Modèle de fonctionnement : Entièrement automatique/semi-automatique/manuellement

Structure

La machine de revêtement sous vide contient le système clé complet répertorié ci-dessous :

1. Chambre à vide

2. Système de pompage à vide Rouhging (ensemble de pompe de soutien)

3. Système de pompage à vide poussé (pompe moléculaire à suspension magnétique)

4. Système de contrôle et d'exploitation électrique

5. Système d'installation auxiliaire (sous-système)

6. Système de dépôt

Caractéristiques principales de la machine de revêtement par pulvérisation de cuivre

1. Équipé de 8 cathodes à arc de direction et de cathodes de pulvérisation CC, de cathodes de pulvérisation MF, d'une unité de source d'ions.

2. Revêtement multicouche et co-dépôt disponible

3. Source d'ions pour le prétraitement de nettoyage au plasma et le dépôt assisté par faisceau d'ions pour améliorer l'adhérence du film.

4. Unité de chauffage des substrats en céramique/Al2O3/AlN ;

5. Système de rotation et de révolution du substrat, pour revêtement 1 face et revêtement 2 faces.

Usine de revêtement par pulvérisation magnétron Cooper sur substrat rayonnant en céramique

Le processus DPC - Direct Plating Copper est une technologie de revêtement avancée appliquée aux industries LED / semi-conducteurs / électroniques.Une application typique est le substrat rayonnant en céramique.

Dépôt de film conducteur Cooper sur des substrats Al2O3, AlN par la technologie de pulvérisation sous vide PVD, par rapport aux méthodes de fabrication traditionnelles : DBC LTCC HTCC, un coût de production beaucoup plus faible est sa grande caractéristique.

L'équipe technologique royale a aidé notre client à développer avec succès le processus DPC avec la technologie de pulvérisation PVD.

La machine RTAC1215-SP conçue exclusivement pour le revêtement de film conducteur en cuivre sur les puces en céramique, les circuits imprimés en céramique.

Veuillez nous contacter pour plus de spécifications, Royal Technology est honoré de vous fournir des solutions de revêtement complètes.