Système de pulvérisation électronique Cooper / électronique militaire Puces de pulvérisation de cuivre à revêtement direct

L'installation de revêtement par pulvérisation par magnétron Cooperélectronique militaire

Le procédé DPC- Direct Plating Copper est une technologie de revêtement avancée appliquée aux industries LED / semi-conducteurs / électroniques.

Dépôt de film conducteur de Cooper sur des substrats Al2O3, AlN, Si, verre par technologie de pulvérisation sous vide PVD, comparé aux méthodes de fabrication traditionnelles: DBC LTCC HTCC, les caractéristiques:

1Le coût de production est beaucoup plus bas.

2- Des performances exceptionnelles en matière de gestion thermique et de transfert de chaleur

3- Alignement précis et conception de motifs,

4. Haute densité de circuit

5Bonne adhérence et soudabilité

L'équipe de technologie royale a aidé notre client à développer le processus DPC avec succès avec la technologie de pulvérisation PVD.
En raison de ses performances avancées, les substrats DPC sont largement utilisés dans diverses applications:

LED haute luminosité pour augmenter la longue durée de vie en raison de sa hauterayonnement thermiqueles performances, les équipements semi-conducteurs, les communications sans fil au micro-ondes, l'électronique militaire, divers substrats de capteurs, l'aérospatiale, le transport ferroviaire, l'électricité, etc.

L'équipement RTAC1215-SP est conçu exclusivement pour le procédé DPC qui obtient la couche de cuivre sur les substrats.avec des techniques de revêtement ionique multi-arc et de pulvérisation par magnétron pour obtenir un film idéal à haute densitéIl s'agit d'une étape cruciale pour le processus de DPC au repos.

Caractéristiques clés de la machine de revêtement par pulvérisation de cuivre

1Il est équipé de 8 cathodes d'arc de direction et de cathodes de pulvérisation en continu, de cathodes de pulvérisation en MF, d'unité de source d'ions.

2. couche multicouche et co-dépôt disponible

3Source ionique pour le prétraitement de nettoyage au plasma et dépôt assisté par faisceau ionique pour améliorer l'adhérence du film.

4- unité de chauffage des substrats en céramique/Al2O3/AlN;

5Système de rotation et de révolution du substrat, pour revêtement à une face et revêtement à deux faces.

Spécifications de la machine de revêtement par pulvérisation de cuivre

Résultats

1. Pression de vide ultime: supérieure à 5,0 × 10^-6Je suis là.

2Pression de fonctionnement sous vide: 1,0 × 10^-4Je suis là.

3Temps de pompage: de 1 atm à 1,0 × 10^-4Torr≤ 3 minutes (température ambiante, chambre sèche, propre et vide)

4Matériau métallisant (pulvérisation + évaporation par arc): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, etc.

5Modèle de fonctionnement: entièrement automatique / semi-automatique / manuel

La structure

La machine de revêtement sous vide contient le système complet clé énuméré ci-dessous:

1Chambre sous vide

2. Système de pompage à vide rugueux (ensemble de pompes à rétroaction)

3Système de pompage à haute pression (pompe moléculaire à suspension magnétique)

4Système électrique de commande et de fonctionnement

5Système d'installation auxiliaire (sous-système)

6Système de dépôt

Échantillons de placage au cuivre

Veuillez nous contacter pour plus de détails, Royal Technology est honorée de vous fournir des solutions complètes de revêtement.

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