Substrats de verre optique à revêtement antireflet pour systèmes d'inspection

Matériau:

• Substrate de base: verre borosilicate de haute précision (par exemple, borofloat 33) ou silice fondue, sélectionné pour sa planéité exceptionnelle, sa stabilité thermique et sa résistance chimique.

• Technologie de revêtement: revêtements diélectriques à plusieurs couches (par exemple, MgF2, SiO2, Ta2O5) appliqués par pulvérisation magnétronique de précision ou par dépôt de vapeur.

• Type de conception: personnalisable sous forme d'AR à large bande (spectre visible-NIR) ou de revêtement en V (optimisation à une seule longueur d'onde).

Propriétés clés:

1. Réflectance ultra-faible: atteint < 0,5% de réflectance de surface (contre 4-8% pour le verre non revêtu), maximisant le débit lumineux.

2. Efficacité de transmission élevée: offre une transmission de la lumière >99,5% dans les longueurs d'onde cibles, réduisant la perte de signal.

3. Stabilité angulaire: maintient les performances sur les angles d'incidence 0-45° critiques pour l'imagerie oblique.

4. Durabilité environnementale: résiste à la délamination, à l'humidité et à la dégradation UV en fonctionnement continu.

5. Qualité de surface: la rugosité sous-Ångstrom (<5Å Ra) empêche les artefacts de diffusion de la lumière.

6. Résistance thermique et chimique: résiste aux solvants de nettoyage et au cycle thermique (-60°C à +300°C).

Fonction principale:

• Pour éliminer les réflexions errantes et maximiser le contraste dans les systèmes d'inspection optique de haute précision.

• Réduit au minimum les images fantômes et les éruptions causées par les reflets de surface.

• Améliore le rapport signal/bruit pour une détection précise des défauts.

• Il préserve l'intensité de la lumière sur des trajectoires optiques complexes.

Principales applications dans les systèmes d'inspection:

1. Métrologie des semi-conducteurs:

   • Scanners de défauts de gaufres

   • Optique d'inspection par lithographie EUV

   • Systèmes d'alignement des masques

2. Inspection optique automatisée (AOI):

   • Vérification de l'assemblage des PCB

   • Détection de défauts sur écran (OLED/LCD)

3. Imagerie biomédicale:

   • Objectifs du microscope pour la pathologie

   • Lentilles de cytométrie de débit

4. Systèmes de vision industrielle:

   • Capteurs de triangulation laser

   • Lentilles de vision mécanique pour chaînes de montage

5. TND dans le domaine aérospatial:

   • fenêtres de sonde à ultrasons

   • Optique par endoscope pour l'inspection des turbines

6. Tests de photonics:

   • Plaques d'interféromètres optiques

   • fenêtres de spectromètre

En résumé:Substrats de verre optique revêtus de revêtement antirefletsont des composants de conception de précision qui résolvent les problèmes de précision induits par la réflexion dans les systèmes d'inspection critiques.En appliquant des revêtements diélectriques multicouches avancés sur des substrats de borosilicate ultra-plat ou de silice fondue, ils atteignent des performances de surface presque invisibles (réflectance < 0,5%), permettant la détection de défauts à l'échelle micron/submicron.Ces substrats améliorent directement la fiabilité de la métrologie des semi-conducteurs, équipement AOI, et outils d'imagerie biomédicale où chaque photon compte.