1,Définition:
Matériau: Les matériaux cibles pour le tungstène sont généralement fabriqués à partir de tungstène ou d'alliages de tungstène de haute pureté, spécialement conçus pour une utilisation dans les processus de dépôt physique de vapeur (PVD).
Point de fusion élevé: le tungstène a un point de fusion exceptionnellement élevé d'environ 3422 degrés Celsius (6,191 degrés Fahrenheit),permettant de résister aux températures élevées générées par les procédés PVD.
Densité: Les matériaux cibles au tungstène ont une densité élevée, généralement comprise entre 17,8 et 19,3 grammes par centimètre cube (g/cm3), ce qui garantit un taux de dépôt élevé et une utilisation efficace des matériaux.
2,Les spécifications:
Matériel | D'une pureté supérieure ou égale à celle du tungstène ou des alliages de tungstène |
Point de fusion | Environ 3422 degrés Celsius |
Densité | 17.8 - 19,3 grammes par centimètre cube (g/cm3) |
Conductivité thermique | Excellente conductivité thermique |
Taux de pulvérisation | Taux de pulvérisation relativement faible, perte minimale de matière |
La pureté | Niveaux élevés de pureté, impuretés minimes |
L'uniformité | Dimensions précises et homogénéité pour un dépôt de film cohérent |