Aperçu

La cible de pulvérisation cathodique 4N Nickel Ni est un matériau cible à base de nickel de haute pureté. Ses principaux avantages résident dans sa structure métallique uniforme, son excellente conductivité thermique et électrique, et sa stabilité chimique. Elle peut être utilisée dans les industries des semi-conducteurs et de l'enregistrement magnétique, ainsi que dans les applications de revêtements fonctionnels haut de gamme, offrant un support stable pour les domaines exigeant des performances de film mince strictes.

Caractéristiques du nickel

• Le nickel a une conductivité thermique élevée, et bien qu'une chaleur importante soit générée pendant la pulvérisation, son excellente conductivité thermique empêche la surchauffe localisée et la fissuration de la cible.
• Une conductivité électrique élevée et stable assure une transmission efficace de la puissance de pulvérisation et réduit les pertes d'énergie.
• Le nickel de haute pureté a une structure métallique uniforme, permettant une libération stable des particules pendant la pulvérisation, assurant la qualité et la précision des films déposés.
• Le nickel ne s'oxyde pas facilement et ne réagit pas avec d'autres gaz dans un environnement sous vide, réduisant l'introduction d'impuretés pendant la pulvérisation et assurant la pureté du film.
• Le nickel a une excellente ductilité et plasticité, ce qui lui permet d'être transformé en cibles de différentes tailles et épaisseurs par forgeage, laminage et découpe, s'adaptant aux structures de chambre de divers équipements de pulvérisation.

Dimensions de la cible 4N Nickel Ni

Application

1. Industrie des semi-conducteurs

• Les semi-conducteurs sont l'une des principales applications de la cible 4N Nickel Ni, tirant principalement parti de leur haute pureté et de leur stabilité de pulvérisation pour assurer la précision et la fiabilité des circuits intégrés. Dans les circuits intégrés et les semi-conducteurs de puissance, les cibles de nickel sont utilisées pour déposer des couches d'électrodes métalliques, permettant la transmission du courant à l'intérieur de la puce. La haute pureté empêche les impuretés d'affecter les performances du circuit.
• Les films minces de nickel agissent comme une barrière, empêchant les atomes de cuivre de diffuser dans la couche isolante de la puce, empêchant ainsi les courts-circuits et la dégradation des performances du circuit.

2. Industrie de l'enregistrement magnétique

• Le nickel possède certaines propriétés magnétiques, et sa perméabilité magnétique stable après la pulvérisation en fait un matériau cible clé dans l'industrie de l'enregistrement magnétique, impactant directement la capacité et la vitesse de lecture/écriture des dispositifs de stockage. Les cibles de nickel sont utilisées pour déposer des couches fonctionnelles magnétiques dans les têtes de disques durs, les films de stockage magnétique, ainsi que dans les bandes magnétiques et les cartes magnétiques, améliorant la densité de stockage et la précision de lecture/écriture des données.
• Dans les capteurs magnétiques (tels que les capteurs ABS automobiles et les capteurs de position industriels), les films minces à base de nickel servent de couches de détection magnétique, améliorant la sensibilité et la stabilité du capteur.

3. Revêtements décoratifs et fonctionnels

• La pulvérisation cathodique crée une couche décorative brillante sur les surfaces de la vaisselle en acier inoxydable, des lampes, des accessoires de quincaillerie et des intérieurs automobiles, tout en améliorant la résistance à l'usure de la surface et en empêchant les rayures et l'oxydation dues à l'utilisation quotidienne.
• Le dépôt de films minces à base de nickel sur les surfaces en verre et en métal améliore la résistance à la corrosion et la résistance au vieillissement aux UV, prolongeant la durée de vie du produit.

4. Nouvelles énergies et autres domaines

• Les films minces de nickel peuvent être utilisés comme couches d'amélioration conductrices ou revêtements résistants à la corrosion sur les collecteurs de courant des batteries lithium-ion et à l'état solide, améliorant l'efficacité de charge et de décharge de la batterie et la durée de vie du cycle.
• Dans les revêtements d'électrodes pour certains modules photovoltaïques, ainsi que dans les films minces optiques tels que les films réfléchissants infrarouges et les films de confidentialité, les cibles de nickel peuvent servir de couches fonctionnelles auxiliaires pour optimiser les performances des dispositifs optoélectroniques.

Processus

① La purification chimique est utilisée pour éliminer initialement les impuretés, suivie d'une ultra-purification par fusion par faisceau d'électrons sous vide pour garantir que la pureté du nickel atteint le grade 4N.

② Le lingot de nickel fondu est coulé dans un environnement sous vide, et le pressage isostatique à chaud est utilisé pour éliminer la porosité interne et assurer la densité de la cible.

③ Le lingot de nickel subit plusieurs passes de laminage ou de forgeage pour obtenir l'épaisseur et la structure de grain souhaitées, avec un recuit sous vide effectué entre les deux pour éliminer l'écrouissage.

④ L'ébauche de la cible est coupée à l'aide d'une découpe au fil ultra-précise ou d'une découpe laser, avec des tolérances dimensionnelles contrôlées à ±0,5 mm.

⑤ Le polissage chimico-mécanique est utilisé pour réduire la rugosité de surface et répondre aux exigences d'une pulvérisation à haute uniformité.

⑥ Des inspections de qualité rigoureuses sont effectuées, notamment l'analyse de la pureté, les tests de performance et les tests non destructifs.

Autres cibles en alliage

Photos de la cible 4N Nickel Ni