Caractéristiques techniques
- La conception identique des compartiments sous vide de 795 mm permet aux utilisateurs d'échanger librement l'emplacement de la pompe, des compartiments de séparation des gaz et des compartiments de cathodes, améliorant ainsi la flexibilité du processus.
- La nouvelle conception du dispositif de séparation des gaz évite la dérive des gaz entre les compartiments des cathodes et permet un meilleur effet de séparation des gaz.
- Le tube de support en aluminium extrudé permet d'isoler l'aimant et son joug de l'eau de refroidissement pour éviter le changement du champ magnétique dû à une longue immersion dans l'eau.
- Équipé d'un système de gaz de procédé auxiliaire de 5 à 9 collecteurs, chacun pouvant être différent selon les exigences du procédé.
- Un contrôle de transport de haute précision peut être assuré par des servo-moteurs.
- Réduction du volume des chambres d'entrée et de sortie pour améliorer l'efficacité et réduire les coûts.
- Un couvercle cathodique intégré permet une combinaison parfaite en plaçant le collecteur de gaz, les contrôleurs,connexions pour l'alimentation électrique et divers supports dans une "boîte" pour rendre la configuration du processus plus flexible.
- Chaque cathode est équipée d'un système de contrôle indépendant.
- La conception du couvercle en une pièce permet de faciliter le levage mécanique et hydraulique, ce qui permet un meilleur contrôle automatique.
- En utilisant des pompes turbo-moléculaires et des pompes à vis avancées pour prévenir la pollution causée par le reflux d'huile et le rendre plus fiable et efficace.
Paramètres techniques
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Série SE2540H |
Série SE3300H |
| Substrate |
Le verre flotté, le verre trempé, le verre stratifié, etc. |
| Taille du substrat |
Max. 2540 × 3660 mm (peut être personnalisé) |
Max. 3300 × 6000 mm (peut être personnalisé) |
| Épaisseur du substrat |
3 à 19 mm (personnalisable) |
| Temps de cycle |
> 20 ans |
> 30 ans |
| Le vide ultime |
< 2E-6mbar |
| Temps de fonctionnement effectif |
> 95% |
| Uniformité du film |
≤ ± 1,0% |