Introduction générale
L'équipement de revêtement par pulvérisation cathodique magnétron RF est un dispositif de revêtement basé sur la technologie de pulvérisation cathodique magnétron et équipé d'une alimentation RF (généralement 13,56 MHz).

Il ionise les gaz inertes (tels que l'argon) grâce à un champ électrique radiofréquence pour former un plasma. Sous la contrainte d'un champ magnétique, le plasma bombarde la surface du matériau cible, ce qui provoque l'évasion des atomes ou des molécules du matériau cible et leur dépôt sur la surface du substrat, formant un film uniforme.

Principales caractéristiques
1. Il possède une large gamme d'adaptabilité et peut pulvériser divers matériaux cibles tels que les conducteurs, les semi-conducteurs et les isolants sans nécessiter de traitement conducteur.

2. Le processus de revêtement est doux, avec une basse température du substrat, ce qui peut réduire les dommages aux substrats sensibles à la chaleur tels que les plastiques et les polymères.

3. La couche de film a une grande précision de contrôle. En ajustant des paramètres tels que la puissance, la pression d'air et le temps, l'épaisseur, la composition et la structure du film peuvent être contrôlées avec précision.

Avantages principaux
1. La couche de film a une excellente qualité, avec une haute densité, un faible taux de défauts et une forte adhérence au substrat.

2. Le taux de pulvérisation est stable, l'efficacité de la production est relativement élevée et il convient à la production industrielle en série.

3. Respectueux de l'environnement et sans pollution, le processus ne nécessite pas de réactifs chimiques et n'utilise que des gaz inertes, répondant aux exigences de la production verte.

Applications typiques
Dans le domaine de l'information électronique :

Préparation de films d'électrodes et de films isolants pour les puces semi-conductrices, les circuits intégrés et les écrans d'affichage.

Domaine optique :

Production de films antireflets, de films réfléchissants, de films filtrants, etc., qui sont appliqués dans les lentilles, les instruments optiques, les modules photovoltaïques, etc.

Dans les domaines industriel et décoratif :

Préparation de films résistants à l'usure, à la corrosion et décoratifs pour une utilisation dans les outils de coupe, les moules, les pièces de quincaillerie et le verre architectural.

Dans le domaine des nouvelles énergies :

Il est utilisé pour les films d'électrodes de batteries au lithium, les couches catalytiques de piles à combustible, les revêtements de cellules solaires, etc.