MachineU > Produits chinois
Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage alcalin/acide par ultrasons + rinçage à l'eau pure, 60°C
Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage alcalin/acide par ultrasons + rinçage à l'eau pure, 60°C
Les spécifications
Numéro de modèle :
JTM-100504AD
Lieu d'origine :
Dongguan, Guangdong
Quantité minimale de commande :
1
Conditions de paiement :
t/t
Capacité à fournir :
Une unité, ça prendra 30 à 60 jours.
Délai de livraison :
30 à 60 jours ouvrables
Détails de l'emballage :
Emballage: boîtier en bois, cadre en bois, film étirable, dimensions: 12 M*2 M*2,8 M
name :
Machine à nettoyer les semi-conducteurs
Nombre de réservoirs :
10
Dimensions globales :
12M*2M*2.8M
Le pouvoir :
120kW
Température de nettoyage :
60°C
Type :
Lavage alcalin aux ultrasons + Lavage acide aux ultrasons + Rinçage à l'eau pure
Fréquence de nettoyage :
Les fréquences de fréquence de l'appareil doivent être:
Modèle :
JTM-100504AD
Définition

Introduction du produit: Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteursJe suis désolée.
Conçu pour un nettoyage de haute précision dans la fabrication de semi-conducteurs, ce système spécialisé combine des procédés ultrasoniques en plusieurs étapes pour répondre aux exigences rigoureuses de pureté de surface des plaquettes de silicium,qui ont une incidence directe sur la fiabilité du dispositif et le rendement de production dans la fabrication de la microélectronique.Je suis désolée.
Procédures de nettoyage de base:Je suis désolée.
  • Nettoyage alcalin par ultrasons: Utilise la cavitation ultrasonique dans des milieux alcalins pour éliminer efficacement les contaminants organiques, les résidus de photorésistance et les débris de particules des surfaces des plaquettes et des structures complexes (par exemple, des tranchées),Via), créant un substrat vierge pour les étapes de traitement ultérieures.Je suis désolée.
  • Nettoyage par acide par ultrasons: utilise une agitation par ultrasons à base d'acide pour cibler et éliminer les impuretés inorganiques, y compris les contaminants des ions métalliques (Fe, Cu, Ni) et les couches d'oxyde natives,utilisant des micro-jets induits par fréquence pour déloger les particules sous-microniques des surfaces moulées ou polies.Je suis désolée.
  • Rinçage à l'eau: la dernière étape utilise de l'eau ultra-pure (UPW) avec une résistivité ≥ 18,2 MΩ·cm pour un rinçage complet,éliminer les agents de nettoyage résiduels et assurer l'inertie de la surface, ce qui est essentiel pour la manipulation des plaquettes et le dépôt de films minces après le nettoyage.Je suis désolée.
Spécifications techniques:Je suis désolée.
  • Fréquence ultrasonique: 40KHz-80KHz (sortie de fréquence variable, permettant l'optimisation de l'intensité de cavitation pour différents profils de contamination et tailles de plaquettes)Je suis désolée.
  • Température de fonctionnement: 60°C (environnement thermique contrôlé avec précision pour améliorer la réactivité chimique tout en préservant l'intégrité structurelle de la gaufre)Je suis désolée.
  • Construction des matériaux: réservoirs et composants de contact fabriqués à partir de PFA et de quartz de haute pureté pour résister à la corrosion chimique et prévenir le rejet de particules, garantissant une contamination secondaire nulle.Je suis désolée.
Principaux avantages de performance:Je suis désolée.
  • Offre une efficacité d'élimination des particules (PRE) de ≥ 99,9% pour les particules ≥ 0,1 μm, conforme aux normes SEMI pour le traitement avancé des nœudsJe suis désolée.
  • Configuration ultrasonique à fréquences multiples s'adapte aux plaquettes nues, aux plaquettes épitaxiales et aux plaquettes à motifs (jusqu'aux nœuds technologiques de 7 nm)Je suis désolée.
  • La régulation de la température à 60°C stabilise la cinétique des réactions chimiques, assurant des résultats de nettoyage cohérents dans toutes les opérations par lotsJe suis désolée.
  • Compatible avec les systèmes automatisés de manutention des plaquettes (SMIF pods, FOUPs) pour une intégration transparente dans les flux de travail des usinesJe suis désolée.
Portée de l'application: Essentiel pour la pré-lithographie, le post-CMP (polissage mécanique chimique) et le nettoyage pré-métallisation dans les lignes de production de plaquettes de silicium de 6 pouces à 12 pouces.Je suis désolée.
Mots clés: système de nettoyage des plaquettes par semi-conducteurs, traitement alcalin/acide par ultrasons, rinçage à l'eau pure, fréquence 40-80KHz, procédé à 60°C, décontamination des plaquettes en siliciumJe suis désolée.
Ce système fournit une solution fiable pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à minimiser les taux de défauts et à améliorer la stabilité du processus dans la production de plaquettes à volume élevé.

Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage alcalin/acide par ultrasons + rinçage à l'eau pure, 60°CNettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage alcalin/acide par ultrasons + rinçage à l'eau pure, 60°C

Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage alcalin/acide par ultrasons + rinçage à l'eau pure, 60°C

Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage alcalin/acide par ultrasons + rinçage à l'eau pure, 60°C

Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage alcalin/acide par ultrasons + rinçage à l'eau pure, 60°C

Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage alcalin/acide par ultrasons + rinçage à l'eau pure, 60°C

Envoyez votre message à ce fournisseur
Envoyez maintenant

Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage alcalin/acide par ultrasons + rinçage à l'eau pure, 60°C

Demandez le dernier prix
Regardez la vidéo
Détails du produit
Numéro de modèle :
JTM-100504AD
Lieu d'origine :
Dongguan, Guangdong
Quantité minimale de commande :
1
Conditions de paiement :
t/t
Capacité à fournir :
Une unité, ça prendra 30 à 60 jours.
Délai de livraison :
30 à 60 jours ouvrables
Fournisseur de contact
vidéo
Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage alcalin/acide par ultrasons + rinçage à l'eau pure, 60°C

guangdong Jietai Ultrasonic cleaning Equipment Co., Ltd.

Active Member
1 Années
guangdong, dongguan
Depuis 2005
Produits principaux :
Équipement de nettoyage par ultrasons, Nettoyeur à ultrasons électronique, Nettoyeur à ultrasons
Total annuel :
4,397,596.73-6,397,596.73
Nombre de salariés :
460~500
Niveau de certification :
Active Member
Découvrez des produits similaires
Voir plus

Trouver des produits similaires par catégorie:

Page d'accueil du fournisseur Produits Machine à nettoyer les semi-conducteurs
MachineU Produits chinois
Fournisseur de contact
Exigence de soumission