MachineU > Produits chinois
Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage ultrasonique alcalin/acide + rinçage à l'eau désionisée, 60℃
Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage ultrasonique alcalin/acide + rinçage à l'eau désionisée, 60℃
Les spécifications
Numéro de modèle :
JTM-100504AD
Lieu d'origine :
Dongguan, Guangdong
Quantité minimale de commande :
1
Conditions de paiement :
t/t
Capacité à fournir :
Une unité, ça prendra 30 à 60 jours.
Délai de livraison :
30 à 60 jours ouvrables
Détails de l'emballage :
Emballage: boîtier en bois, cadre en bois, film étirable, dimensions: 12 M*2 M*2,8 M
Nombre de réservoirs :
10
Fréquence de nettoyage :
Les fréquences de fréquence de l'appareil doivent être:
Type :
Lavage alcalin aux ultrasons + Lavage acide aux ultrasons + Rinçage à l'eau pure
name :
Machine à nettoyer les semi-conducteurs
Dimensions globales :
12M*2M*2.8M
Le pouvoir :
120kW
Température de nettoyage :
60°C
Modèle :
JTM-100504AD
Définition
Présentation du produit : Système de nettoyage de plaquettes de silicium pour semi-conducteurs​
Conçu sur mesure pour les flux de travail de fabrication de semi-conducteurs, ce système de nettoyage de précision intègre des processus ultrasoniques multi-étapes pour obtenir une pureté de surface ultra-élevée des plaquettes de silicium, essentielle pour garantir le rendement et les performances des dispositifs dans la fabrication de circuits intégrés et le traitement MEMS.​
Étapes de nettoyage principales:​
  • Nettoyage ultrasonique alcalin: Utilise l'effet de cavitation à des fréquences réglables pour dissoudre les résidus organiques, les restes de résine photosensible et les contaminants particulaires des surfaces des plaquettes et des microstructures, préparant les substrats pour le traitement acide ultérieur.​
  • Nettoyage ultrasonique acide: Cible les impuretés inorganiques (par exemple, les ions métalliques, les couches d'oxyde) via l'énergie ultrasonique optimisée en fréquence, améliorant la réactivité chimique pour déloger les contaminants submicroniques intégrés dans les structures à motifs ou les bords des plaquettes.​
  • Rinçage à l'eau désionisée: Met en œuvre une circulation d'eau désionisée de haute pureté pour éliminer les produits chimiques résiduels, assurant la neutralité de la surface et répondant aux normes de conductivité strictes (≤18,2 MΩ·cm) requises pour le traitement avancé des semi-conducteurs.​
Paramètres techniques:​
  • Plage de fréquences ultrasoniques: 40 kHz-80 kHz (multibande réglable, permettant une adaptation précise aux types de contamination et aux géométries des plaquettes)​
  • Température du processus: 60 °C (thermostatée pour optimiser les taux de réaction chimique tout en évitant d'endommager les plaquettes)​
  • Compatibilité des matériaux: Construit avec des réservoirs doublés de PFA et des composants en quartz pour résister aux produits chimiques corrosifs, évitant ainsi une contamination secondaire.​
Avantages clés:​
  • Atteint une efficacité de suppression des particules inférieure à 50 nm, conforme aux normes SEMI F020​
  • Les modules ultrasoniques à fréquence réglable s'adaptent aux plaquettes nues, aux plaquettes à motifs et aux couches minces​
  • Le contrôle intégré de la température assure une efficacité de nettoyage constante lors du traitement par lots​
  • Intégration transparente avec les systèmes de manipulation de plaquettes en amont et les processus de lithographie/gravure en aval​
Application: Idéal pour le nettoyage avant diffusion, avant dépôt et après gravure dans les chaînes de fabrication de plaquettes de silicium de 4 à 12 pouces.​
Mots-clés: Nettoyeur de plaquettes de semi-conducteurs, nettoyage ultrasonique alcalin/acide, rinçage à l'eau désionisée, 40-80 kHz, processus à 60 °C, traitement de surface des plaquettes de silicium​

Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage ultrasonique alcalin/acide + rinçage à l'eau désionisée, 60℃Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage ultrasonique alcalin/acide + rinçage à l'eau désionisée, 60℃

Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage ultrasonique alcalin/acide + rinçage à l'eau désionisée, 60℃

Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage ultrasonique alcalin/acide + rinçage à l'eau désionisée, 60℃

Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage ultrasonique alcalin/acide + rinçage à l'eau désionisée, 60℃

Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage ultrasonique alcalin/acide + rinçage à l'eau désionisée, 60℃

Envoyez votre message à ce fournisseur
Envoyez maintenant

Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage ultrasonique alcalin/acide + rinçage à l'eau désionisée, 60℃

Demandez le dernier prix
Regardez la vidéo
Détails du produit
Numéro de modèle :
JTM-100504AD
Lieu d'origine :
Dongguan, Guangdong
Quantité minimale de commande :
1
Conditions de paiement :
t/t
Capacité à fournir :
Une unité, ça prendra 30 à 60 jours.
Délai de livraison :
30 à 60 jours ouvrables
Fournisseur de contact
vidéo
Nettoyeur de plaquettes de silicium à semi-conducteurs 40KHz-80KHz - Nettoyage ultrasonique alcalin/acide + rinçage à l'eau désionisée, 60℃

guangdong Jietai Ultrasonic cleaning Equipment Co., Ltd.

Active Member
1 Années
guangdong, dongguan
Depuis 2005
Produits principaux :
Équipement de nettoyage par ultrasons, Nettoyeur à ultrasons électronique, Nettoyeur à ultrasons
Total annuel :
4,397,596.73-6,397,596.73
Nombre de salariés :
460~500
Niveau de certification :
Active Member
Découvrez des produits similaires
Voir plus

Trouver des produits similaires par catégorie:

Page d'accueil du fournisseur Produits Machine à nettoyer les semi-conducteurs
MachineU Produits chinois
Fournisseur de contact
Exigence de soumission