Système de revêtement par pulvérisation par ultrasons à base de polyimide et de photorésistant avec microdose

Définition:

Le système de pulvérisation par ultrasons s'est avéré approprié pour diverses applications nécessitant des revêtements de film photorésistants ou polyimides uniformes et répétables, et est un procédé simple, économique,et procédé de revêtement photorésistant et polyimide reproductible.
Les applications courantes des revêtements à ultrasons polyimides et photorésistants incluent, mais ne sont pas limitées aux MEMS, lentilles, dispositifs microfluidiques, microélectronique et filtres.Les systèmes de revêtement sont capables de revêtir des substrats plats et 3D, notamment les copeaux de silicium, le verre, la céramique et les métaux.

Paramètres:

Structure et principe de la buse à ultrasons:

La buse à ultrasons est un dispositif de réglage basé sur la résonance de fréquence spécifique.d'une fréquence comprise entre 25 et 120 kHzC'est-à-dire que plus la fréquence ultrasonique est élevée, plus le transducteur est petit, et la taille moyenne des gouttelettes générée par l'atomisation de la buse diminuera également.

La buse ultrasonique est composée de plusieurs parties dont le composant motrice comprend une paire de transducteurs piézoélectriques qui convertissent l'énergie électrique en mouvement mécanique.L'alimentation haute fréquence provient d'un générateur séparé qui peut verrouiller sur la fréquence de résonance de la buseLe transducteur est situé entre deux cylindres en titane, qui amplifient le mouvement de vibration du transducteur pour maximiser son effet sur la surface d'atomisation.Nous avons choisi le titane comme matériau car il a une résistance à la traction élevée, de bonnes propriétés acoustiques et une excellente résistance à la corrosion.

Le liquide est transporté à la surface d'atomisation par un canal de grand diamètre le long de toute la longueur de la buse.Il rencontrera des vibrations d'amplitude élevée qui le briseront en petites gouttelettes qui se déplaceront à basse vitesse (moins de 3 pouces/seconde)Pour obtenir cet effet, la puissance de l'application doit être maintenue dans une fenêtre relativement étroite.Si la puissance est trop élevéeDans ce cas, le liquide sera déchiré en gros morceaux, ce qui n'est pas approprié pour la pulvérisation par pulvérisation.la puissance de fonctionnement de la buse varie entre 1 et 15 watts selon la conception et les propriétés spécifiques du liquide pulvérisé.

Système de revêtement par pulvérisation par ultrasons à base de polyimide et de photorésistant avec microdose