Le revêtement spécifique de la pellicule de protection par pulvérisation par ultrasons avant la découpe de la gaufre de silicium

Définition:

La pulvérisation par ultrasons d'un revêtement spécifique de film protecteur avant la découpe des plaquettes de silicium s'est avérée être un procédé fiable, répétable,méthode efficace pour appliquer divers produits chimiques sur le silicium avant de le couperLes substances chimiques courantes sont le Z-Coat, le PMMA et d'autres produits chimiques facilement amovibles.Le système de buse de FUNSONIC peut être personnalisé pour répondre aux exigences spécifiques des clients en matière de revêtement et aux défis posés par les films de protection avant la découpe des plaquettes de silicium.
Le revêtement spécifique de film de protection par pulvérisation par ultrasons avant la découpe des plaquettes de silicium peut être appliqué à n'importe quelle forme ou taille en contrôlant l'épaisseur de sous-microne à plus de 100 microns.Le système de revêtement est une alternative viable à d'autres technologies de revêtement telles que la pulvérisation rotative et traditionnelle.

Paramètres:

Les avantages:

Les buses à ultrasons ont des applications importantes dans le traitement de la photolithographie.Les fabricants de semi-conducteurs utilisent la technologie de pulvérisation par ultrasons pour pulvériser le développeur de photorésistance sur les substrats de puces de silicium et d'arsenure de galliumLe procédé de pulvérisation consiste à insérer la buse au-dessus de la puce,et ensuite contrôler la buse ultrasonique à travers XYZ trois axes et le servo-moteur pour distribuer uniformément le revêtementComme la pulvérisation de la buse à ultrasons est douce et continue, elle peut améliorer l'activité chimique, améliorer l'efficacité du développement et réduire le rebond et les déchets de matériaux.Les données montrent que la technologie de pulvérisation par ultrasons peut économiser jusqu'à 70% de matériaux et améliorer le contrôle des dimensions critiques.
Comparativement aux revêtements traditionnels, l'avantage des buses à ultrasons est qu'elles peuvent distribuer les matériaux de manière plus uniforme et réduire la dépendance de la distribution du liquide à la tension de surface.Le revêtement traditionnel par rotation consiste à déposer des matériaux sous forme de flaques ou de courants sur une partie d'une puce, puis les disperser sur la surface par une force centrifuge.Ce processus nécessite un contrôle précis de la température et du taux d'évaporation du solvant pour assurer l'intégrité et l'uniformité du revêtementLes buses à ultrasons, quant à elles, atomisent le matériau sur toute la surface de la puce pour former un film mince continu.il n'est pas nécessaire de prendre en compte l'évaporation du solvant et les forces de surface, et il n'y aura pas d'éclaboussures ou de dépôts arrière.

Le revêtement spécifique de la pellicule de protection par pulvérisation par ultrasons avant la découpe de la gaufre de silicium