Couche de plaquettes à semi-conducteurs à ultrasons
Définition:
Le revêtement des plaquettes est un procédé unique qui facilite l'application automatique d'adhésifs de collage de puces au niveau des plaquettes, suivie de la formation de films de collage de puces à l'étape suivante.La technologie de revêtement de plaquettes par semi-conducteurs à ultrasons de FUNSONIC convient au revêtement de plaquettes, ce qui permet d'atteindre la vitesse de traitement, le contrôle de l'épaisseur et l'uniformité du matériau.Les connexions à puce sont réalisées par chauffage et pression pour produire des lignes adhésives cohérentes et de petites, les coins contrôlés.
La technologie de revêtement des plaquettes à semi-conducteurs à ultrasons doit tenir compte des paramètres de pulvérisation pendant l'utilisation, tels que la fréquence ultrasonique, la vitesse de pulvérisation et l'épaisseur du revêtement.qui doivent être optimisés en fonction des matériaux et des exigences spécifiquesEn même temps, les propriétés des matériaux peuvent également avoir une certaine incidence sur l'effet de pulvérisation, telles que la viscosité, la tension de surface et la volatilité du revêtement,qui doivent être pris en considération lors du choix des matériaux.
Paramètres:
Type de produit | Machine de revêtement de précision par ultrasons intelligente de bureau de type FS620 |
Fréquence de fonctionnement de la buse de pulvérisation | 20 à 200 Khz |
Puissance de la buse | 1 à 15 W |
Volume maximal de pulvérisation en continu | 00,5 à 10 ml/min |
Largeur effective de pulvérisation | 2 à 20 mm |
Uniformité de pulvérisation | ≥ 95% |
Taux de conversion de la solution | ≥ 95% |
Épaisseur du film sec | 20 nm à 100 μm |
Viscosité de la solution | ≤ 30 cps |
Plage de température | 1 à 60°C |
Particules atomisées (valeur médiane) | 15-40 μm (eau distillée), déterminée par la fréquence de la buse |
Pression de déviation maximale | ≤ 0,05 MPA |
Voltage d'entrée | 220V±10%/50-60Hz |
Mode d'exercice | XYZ à trois axes, programmable indépendamment |
Mode de commande | Système de commande de pulvérisation FUNSONIC, commande PLC, écran tactile couleur 13,3 pouces |
Contenu du contrôle | Systèmes de pulvérisation par ultrasons, d'alimentation en liquide, de chauffage, de dispersion par ultrasons et autres |
Méthode d'approvisionnement en liquide | Pompes d'injection de précision |
Système de dispersion par ultrasons (facultatif) | 20 ml ou 50 ml, 40K, échantillonneur de qualité biologique |
Puissance nominale du système de dispersion ultrasonique | 100 W |
Application du produit
1. revêtement de couche photosensible:
En photolithographie, la technologie ultrasonique est utilisée pour revêtir uniformément les matériaux photosensibles, assurant un transfert de motifs haute résolution.
2. revêtement de protection:
Appliquer des revêtements de protection anti-corrosion et résistants aux rayures pour améliorer la durabilité de la gaufre.
3. revêtement fonctionnel:
Dans certaines applications, des matériaux fonctionnels ayant des propriétés électriques ou optiques spécifiques peuvent être revêtus.
Couche de plaquettes à semi-conducteurs à ultrasons