Introduction du produit

Un vaisseau à plaquettes, également connu sous le nom de bateau ou de porteuse, est un outil essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs pour la tenue, le transfert et le positionnement des plaquettes.Sa conception doit résister à des conditions extrêmes telles que des températures élevées (> 1000°C), la corrosion chimique et la décharge électrostatique (ESD) pour assurer la sécurité des plaquettes lors de divers processus.

Principe

Je suis désolée.Alignement et fixation:
Les trous de positionnement sur le bateau s'alignent avec des broches dans la cassette de gaufre, permettant le transfert de lots sans manipulation manuelle.
Les plaquettes à double couche (supérieure et inférieure) sécurisent les plaquettes pendant le cycle thermique (par exemple, le recuit).

Je suis désolée.Gestion du stress thermique:
Le matériau à faible expansion thermique (0,5×10−6/°C) minimise la déformation sous les fluctuations de température.
La structure du nid de miel répartit le stress thermique uniformément.

Compatibilité avec les processus:
Les géométries des fentes (par exemple, de type I, de type V) permettent d'adapter des épaisseurs de plaquettes variables (300 ∼ 800 μm) tout en assurant le débit de réactif en phase gazeuse.
La section transversale en forme de diamant permet un chargement robotique bidirectionnel, améliorant le débit.

Sécurité et protection:
Les composants tampons (ressorts, plaquettes en caoutchouc) absorbent les chocs mécaniques lors du placement des plaquettes.
La purge à l'azote élimine les résidus, ce qui empêche la contamination

Caractéristiques

Le verre à silice fondu est un verre industriel spécialisé fabriqué à partir de dioxyde de silicium (SiO2).

• Je suis désolée.Résistance à haute température:

Point de ramollissement: ~ 1730°C.
Fonctionne en continu à 1100 ∼ 1250 ° C et résiste à une exposition à court terme jusqu' à 1450 ° C.

• Je suis désolée.Inerté chimique:

Résistant à la plupart des acides (à l'exception de l'acide fluorhydrique).
La résistance à la corrosion est 30 fois supérieure à celle de la céramique et 150 fois supérieure à celle de l' acier inoxydable.
Maintient la stabilité dans des conditions thermiques extrêmes, surpassant les autres matériaux.

• Stabilité thermique:

Coefficient de dilatation thermique extrêmement faible (~ 5,5 × 10−7/°C).
Survient aux chocs thermiques (par exemple, chauffage à 1100°C et étanchéité dans l'eau).

• Je suis désolée.Transparence optique:

Transmission spectrale large de l'ultraviolet (UV) à l'infrarouge (IR).
Perméabilité à la lumière visible: > 95%.
La transmittance UV atteint un pic de > 85% dans la plage de 185 à 250 nm.

• Je suis désolée.Isolement électrique:

La résistance est 10 000 fois supérieure au verre ordinaire.
Excellentes propriétés diélectriques même à haute température.

Applications