Ce instrument d'orientation cristalline par rayons X est conçu pour l'alignement de haute précision du plan de référence des barres monocristallines grâce à la technologie de diffraction des rayons X. Il est capable d'aligner le plan cristallographique principal (communément le plan ) pour les barres de diamètres 2, 4 et 6 pouces. Le système prend en charge les orientations standard et personnalisées telles que les plans C ou R, ce qui le rend adapté à diverses applications de traitement des semi-conducteurs et des cristaux.
Plateforme de référence stable :
La machine est dotée d'une plateforme de base rigide fixée à la structure principale, servant de référence horizontale pendant la mesure. Le côté droit de la plateforme est conçu pour le positionnement, tandis que le côté gauche comprend un mécanisme de serrage à vis pour maintenir fermement la fixation et le cristal en place.
Orientation précise du plan :
Le système permet un alignement précis de la face de référence , avec un angle θ standard de 18,917° (18°55′00″). Des orientations alternatives peuvent être configurées sur demande pour s'adapter à différentes directions cristallographiques.
Fonctionnement convivial :
Étalonnage de l'instrument : Effectué à l'aide d'une barre cristalline standard pour garantir un alignement angulaire fiable.
Positionnement et balayage : Après le nettoyage, la fixation est placée sur la plateforme et ajustée jusqu'à ce que le faisceau de rayons X irradie la surface cylindrique.
Détection des pics : La barre est lentement tournée sous l'exposition aux rayons X. Lorsque le compteur μA atteint sa lecture maximale, le cristal est correctement aligné et verrouillé en place.
Préparation du meulage : Le cristal aligné peut être retiré et transféré directement vers une machine à meuler pour le traitement de surface.
Réglage vertical automatique :
Prend en charge la fonctionnalité de levage automatique pour un réglage de la hauteur pratique pendant le processus de mesure.
Article | Spécification |
---|---|
Alimentation | CA 220 V, 50 Hz, monophasé, 0,25 kW |
Tube à rayons X | Cible en cuivre, refroidie par ventilateur, anode mise à la terre |
Tension/courant maximum du tube | 30 kV / 5 mA (réglable en continu) |
Limite de courant recommandée | ≤ 2,0 mA (pour éviter les dommages et les risques de rayonnement) |
Type de détecteur | Compteur (max. CC 1000 V) ou détecteur à scintillation (max. CC 1200 V) |
Constantes de temps | 2 niveaux : Rapide (1) / Lent (2) |
Angle d'orientation (θ) | 18,917° (18°55′00″) |
Obturateur à rayons X | Automatique |
Affichage | Indicateur d'intensité du rayonnement |
Dimensions de la machine (L × l × H) | 1132 × 642 × 1460 mm |
Poids net | Environ 200 kg |
Ce système d'orientation par rayons X est idéal pour une utilisation dans la fabrication de cristaux semi-conducteurs, y compris le silicium, le saphir et les matériaux composites, où un alignement cristallographique précis est requis avant la découpe de plaquettes ou le traitement de surface. Il prend également en charge la recherche et le développement en science des matériaux et en ingénierie des cristaux.
Q1 : Quels types de cristaux sont compatibles avec cet instrument d'orientation par rayons X ?
R1 : L'instrument est compatible avec une variété de matériaux monocristallins tels que le silicium, le saphir, le SiC (carbure de silicium), le GaN et d'autres semi-conducteurs composites. Il prend en charge les diamètres de barres de 2, 4 et 6 pouces.
Q2 : L'instrument peut-il mesurer des orientations cristallines autres que le plan ?
R2 : Oui, en plus du plan de référence (θ = 18,917°), le système peut être configuré pour mesurer d'autres directions cristallographiques, telles que l'axe C ou l'axe R, en fonction des exigences du client.
Q3 : Comment l'instrument est-il étalonné ?
R3 : L'étalonnage est effectué à l'aide d'une barre cristalline standard certifiée. Cela garantit la précision angulaire et la répétabilité du système avant le traitement des échantillons de production.
Q4 : Le processus de mesure est-il automatique ou manuel ?
R4 : Le système combine le placement et le réglage manuels avec des fonctionnalités automatisées, notamment le contrôle automatique de l'obturateur et le levage vertical, pour simplifier le fonctionnement et améliorer l'efficacité.
Q5 : Quelles mesures de sécurité sont incluses pour gérer le rayonnement des rayons X ?
R5 : L'instrument utilise un tube à rayons X de faible puissance et comprend des mesures de protection pour minimiser l'exposition. Les utilisateurs doivent toujours utiliser l'équipement en suivant les protocoles de sécurité standard en matière de rayonnement et éviter de dépasser la limite de courant recommandée de 2,0 mA.
Q6 : Quelle maintenance est requise pour une utilisation à long terme ?
R6 : Le nettoyage régulier de la fixation et de la plateforme est essentiel. Une inspection périodique du tube à rayons X, des détecteurs et des connexions électriques est également recommandée. La durée de vie du tube à rayons X peut être prolongée en fonctionnant dans la plage de courant sûre.
Q7 : L'instrument peut-il être utilisé dans un environnement de salle blanche ?
R7 : Oui, la conception compacte et la structure fermée le rendent adapté aux applications en salle blanche, à condition que la manipulation et la maintenance appropriées soient respectées.
Q8 : La personnalisation est-elle disponible pour différentes tailles ou orientations de cristaux ?
R8 : Oui, le système peut être personnalisé pour prendre en charge différentes tailles de cristaux, des conceptions de fixations spécialisées ou des angles d'orientation non standard sur demande.
Machine de découpe à une seule ligne diamant à trois stations SiC Saphir Céramiques