Machine de revêtement de pulvérisation de magnétron de la couche mince de laboratoire/procédé de protection portatif de pulvérisation de la couche mince

La technologie royale a conçu et divers fourni des procédés de protection d'Ultra-Haut-vide pour l'enseignement d'université et la recherche et développement scientifique, pour étudier la diverse croissance de film différente, produit des couches minces NANOES plus innovatrices est appliqué avec nos industries commerciales.  Nos clients aiment : Université de Changhaï de la Chine, université de Machanster du R-U, pile à combustible scientifique d'université de Pékin, de semi-conducteur, de pile solaire, recherche scientifique et service de physique des hautes énergies etc. d'espace d'organismes.

Machine de revêtement de pulvérisation de magnétron de la couche mince de laboratoire : C.C, MF, cathodes de pulvérisation de rf pour le but de R&D peut obtenir la couche unitaire, le film diélectrique, le film composé, le semi-conducteur, les couches multiples, le film composé, et les films etc. de diélectrique

Représentation technique de machine de revêtement de pulvérisation de magnétron de la couche mince de laboratoire :

1 pression finale de vide : améliorez que les torr 5.0×10-6.

2. Pression fonctionnante de vide : Torr 1.0×10-4.

3. Temps de Pumpingdown : de 1 atmosphère à 1.0×10-4 Torr≤ 3 minutes (la température ambiante, sèche, nettoient et vident la chambre)

4. Métallisant Al, le Cr, le Sn, le Ti, les solides solubles, le Cu (de pulvérisation) matériels… etc.

5. Modèle fonctionnant : Plein automatiquement /Semi-Auto/ manuellement

Structure de machine de revêtement de pulvérisation de magnétron de la couche mince de laboratoire

1. Puits à dépression

2. Système de pompage de vide de Rouhging (paquet de pompe de support)

3. Système de pompage de vide poussé (pompe de diffusion)

4. Système de commande électrique et d'opération

5. Système d'installation d'Auxiliarry (sous-système)

6. Système de dépôt

Le procédé de protection de pulvérisation de magnétron de la couche mince de laboratoire peut également combiner avec des sources de cathod et d'évaporation d'arc pour plus d'application d'études.