Performance d'isolation Des bases en céramique d'alumine pour les équipements de mesure de précision et l'inspection industrielle

Ces bases de support en céramique d'alumine sont fabriquées à l'aide d'un matériau Al2O3 de 99,6% de haute pureté, spécialement conçu pour les équipements de mesure à semi-conducteurs, optiques et de précision.d'une épaisseur supérieure ou égale à 0,01 mm.01 mm/m et un coefficient de dilatation thermique de 7,2×10−6/°C, les produits maintiennent une stabilité dimensionnelle exceptionnelle à des températures extrêmes (-60°C~1500°C) et dans des environnements à vide (≤10−8Pa).

Principaux domaines d'application

• Équipement à semi-conducteurs: stades de plaquettes de lithographie, bases de chambres de réacteurs à gravure

• Optique de précision: Plateformes de référence d'interféromètres laser, montures de miroirs pour télescopes spatiaux

• Instruments d'analyse: échantillonnage par microscope électronique, support de source ionique par spectromètre de masse

• Inspection industrielle: bases de machines CMM, plateaux tournants pour le test de la rondeur

• Une nouvelle énergie: supports de pile à combustible, supports d'équipement de revêtement photovoltaïque

Matrice des avantages de performance

Spécifications techniques

Processus de fabrication de précision

1. Traitement des poudres: poudre de haute pureté de 0,1 μm avec granulation par pulvérisation

2. Le processus de formation: Presse isostatique (300 MPa) combinée à l'usinage vert CNC

3. Technologie de frittage: Sintration par dégradé à 1700°C dans une atmosphère hydrogène

4. Machinerie de précision:

   • à haute résistance à l'usure

   • Polissage magnétoréologique (précision de surface λ/20@632,8 nm)

5. Traitement en salle blanche: Assemblage terminé en salle blanche de classe 100

6. Inspection complète: Interféromètre laser + inspection dimensionnelle complète par CMM

Lignes directrices d'installation

• Exigences relatives à l'installation:
  ✓ Utiliser une clé de couple (valeur recommandée 1,5 ± 0,2 N·m)
  ✓ Utilisez des outils de salle blanche
  ✓ Préajustement recommandé de l'appariement thermique (gradient de température < 2°C/min)

• Les limites de l'environnement:
  Évitez le contact avec l' acide fluorhydrique
  Éviter les chocs thermiques > 200°C/min
  Ne convient pas à des environnements d'oxydation continue > 1600 °C

Engagement au service

• Appui technique: analyse de stress gratuite de la FEA

• Réaction rapide: service accéléré de 72 heures

• Gestion de la traçabilité: enregistrements de production complets sur 10 ans

• Appui à la certification: documents de certification SEMI/FDA/ISO fournis

Questions fréquentes

Q: Comment assurer la correspondance thermique avec les composants en carbure de silicium?
A: conception de transition de gradient CTE disponible (réglable à 7,2-4,5 × 10−6/°C)

Q: Dimensions maximales traçables?
R: Limite technique actuelle de 500×500×100 mm (outillage spécial requis)

Q: La modification du conducteur est-elle prise en charge?
A: versions antistatiques personnalisables avec une résistance de surface de 104 à 1010Ω

Q: Comment la propreté au niveau des plaquettes est-elle garantie?
R: Stérilisation finale par VHP (péroxyde d'hydrogène vaporisé)