Produits en aluminium adaptés aux composants résistants à la corrosion et aux températures élevées
Nos composants en céramique d'alumine de haute précision utilisent un matériau Al2O3 ultra-pur (pureur ≥99,6%) spécialement conçu pour des applications d'instrumentation de précision.d'une épaisseur n'excédant pas 1 mm.05 μm) et une précision dimensionnelle au niveau des microns (± 0,005 mm), ces composants répondent aux exigences les plus exigeantes des équipements à semi-conducteurs, des instruments optiques et des dispositifs médicaux.
Fabrication de semi-conducteurs: bras de manipulation de plaquettes, revêtements de chambre sous vide, buses plasma
Instrumentation optique: montures de miroirs laser, ensembles de fentes de spectromètres, plateformes de référence d'interféromètres
Équipement d'analyse médicale: sources ioniques de spectromètre de masse, colonnes céramiques chromatographiques, modules de cycle thermique PCR
Recherche scientifique: Franges UHV, platesformes expérimentales cryogéniques, optique par rayonnement synchrotron
Métrologie industrielle: pointes de sonde CMM, blocs de référence de profilomètre de surface, tourne-disques de test de rondeur
Je ne sais pas.Machinerie de précision extrême: précision du profil ≤ 0,1 μm, tolérance angulaire ± 5 secondes d'arc
Je ne sais pas.Stabilité exceptionnelle: CTE 7,2±0,1 × 10−6/°C (20-100°C)
Je ne sais pas.Surfaces ultra-propres: teneur en ions métalliques < 1 ppm
Je ne sais pas.Personnalisation fonctionnelle: Zones conductrices/isolantes/antistatiques intégrées
Je ne sais pas.Résistance de l'environnement: Tolérance au rayonnement > 106Gy, taux de dégazage < 10−11 Pa·m3/s
Paramètre | Spécification |
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La pureté matérielle | Al2O3 ≥ 99,6% |
Densité | 30,92 ± 0,02 g/cm3 |
Roughness de la surface | Ra ≤ 0,05 μm |
Plateur | ≤ 0,1 μm/25 mm |
Dureté de Vickers | HV0,5≥1800 |
Étanchéité sous vide | Taux de fuite < 10−10mbar·L/s |
Traitement des poudres ultrafines: granulation par pulvérisation d'alumine à 50 nm
Pressions isostatiques: pressage isostatique à froid de 200 MPa
Sintration dans l'atmosphère: Sintration à l'hydrogène à 1700°C
Machinerie de précision extrême: EDM à fil lent à 5 axes + broyage au diamant
Traitement en salle blanche: classe 100 Nettoyage par ultrasons
Inspection complète: Interférométrie de la lumière blanche + vérification dimensionnelle complète par CMM
▷ Utiliser des outils propres et des gants ESD pendant l'installation
▷ Température de fonctionnement recommandée: -60°C à 450°C
▷ Évitez les milieux corrosifs puissants (HF, acide phosphorique chaud, etc.)
▷ Le nettoyage du plasma est recommandé toutes les 500 heures de fonctionnement
▷ Conditions de stockage: 22 ± 1°C, 45 ± 5% de température ambiante
Q: Pouvez-vous répondre aux normes ISO-10110 sur les surfaces optiques?
A: Capable d'une planéité optique λ/20@632,8 nm
Q: Offrez-vous des solutions en céramique conductrice?
R: Résistance de surface personnalisable 104-1010Ω
Q: Dimensions maximales d'une seule pièce?
A: capacité actuelle 300×300×50 mm (plus grands ensembles disponibles)
Q: Comment les performances des UHV sont-elles garanties?
R: Un procédé de frittage spécial permet une évacuation de gaz plus faible que la plupart des métaux