Le bras robotique en céramique en alumine imprimée en 3D est une solution d'automatisation haute performance spécialement conçue pourFabrication de semi-conducteurs, manipulation des plaquettes et production automatisée. UtilisantTechnologie d'impression DLP / SLA 3D, il est fabriqué en un seul composant intégré de99,9% de céramique d'alumine de haute pureté (al₂o₃). Avec des propriétés exceptionnelles, notammentdureté ultra-élevée, résistance thermique, résistance à la corrosion et coefficient de dilatation thermique faible, c'est idéal pourenvironnements sous vide, conditions chimiques dures et processus à haute température, assurerHaute propreté et stabilitéDans les applications de manutention des plaquettes.

Applications clés

✅Manipulation de la plaquette semi-conductrice: Adhérence à l'aspirateur, positionnement et transfert deGauffes de 12 pouces
✅Équipement de gravure et de dépôt: Résistant au plasma pour les processus PVD / CVD
✅Opérations à haute température: Opération continue à300 ° C +
✅Lignes de production automatisées: Compatible avec les outils de fin de bras (EOAT) pour une productivité améliorée

Avantages compétitifs

Spécifications techniques

• Pureté des matériaux: ≥99,9% al₂o₃

• Technologie d'impression: Photopolymérisation DLP (précision ± 20 μm)

• Capacité de charge utile: 5kg (standard) / 10 kg (robeur)

• Répétabilité:± 0,01 mm Précision de positionnement

• Plage de température: -50 ° C à 300 ° C

• Rugosité de surface: Ra≤0,1 μm (polonable à 0,05 μm)

• Compatibilité sous vide: Canaux d'air intégrés (filtration 0,5 μm)

Processus de fabrication

1. Modélisation 3D: CAD Design + Simulation de chemin de manutention de la plaquette

2. Préparation de lisier: Mélange de résine Nano-Alumina + Photopolymère (55-58% de teneur solide)

3. Impression DLP: Durcissement couche par couche (20 μm d'épaisseur)

4. Frittage à haut tempête: Densification de 1650 ° C (117-122% de réduction de la rémunération)

5. Usinage de précision: Coupage au laser + broyage CNC (± 0,02 mm de planéité)

6. Contrôle de qualité: Inspection des rayons X + test de fuite

Instructions de fonctionnement

⚠Notes importantes:

• Autoclave stériliser (121 ° C) avant la première utilisation

• Évitez l'exposition à l'acide hydrofluorique (HF)

• Inspection conjointe mensuellepour l'usure et l'intégrité de l'aspirateur

• Utiliser des effets finaux en céramiquePour éviter les dommages causés par la tranche