1,Définition:

1. Matériau: Molybdène Les cibles de pulvérisation sont constituées de molybdène, un métal réfractaire connu pour son point de fusion élevé, son excellente conductivité thermique et électrique et sa résistance à la corrosion.Le molybdène est largement utilisé pour la pulvérisation.

2. Forme et structure: Les cibles de pulvérisation au molybdène sont généralement en forme de disque ou rectangulaire.Les cibles peuvent être solides ou attachées à une plaque de support pour un soutien supplémentaire.

3. Haute pureté: Les cibles de pulvérisation au molybdène sont disponibles dans des catégories de haute pureté, garantissant un minimum d'impuretés pouvant affecter la qualité des films minces.Une pureté élevée est cruciale pour les applications dans la fabrication de semi-conducteurs, les revêtements optiques et la recherche sur les films minces.

4. Performance de pulvérisation: les cibles de pulvérisation au molybdène présentent d'excellentes performances de pulvérisation, permettant le dépôt de films minces de haute qualité.érosion uniforme, et des taux de dépôt élevés, ce qui donne une épaisseur de film précise et constante.

5. Conductivité thermique et électrique: les cibles de pulvérisation au molybdène ont une conductivité thermique et électrique élevée, ce qui facilite une dissipation de chaleur efficace pendant le processus de pulvérisation.Cela aide à maintenir l'intégrité de la cible et assure une performance de pulvérisation stable.

6. Résistance à la corrosion: Les cibles de pulvérisation au molybdène possèdent une bonne résistance à la corrosion, ce qui les rend adaptées à une utilisation dans divers environnements et processus de pulvérisation.Ils peuvent résister aux gaz réactifs et aux conditions plasmatiques rencontrées lors de la pulvérisation.

2Les spécifications: