Le haut laboratoire PECVD de la température a dédoublé le four de tube avec le tube de quartz
 
Introduction intelligente de PECVD :
Le système de PECVD est conçu pour diminuer la température de réaction de la CVD traditionnelle. Il a installé l'équipement d'induction de rf devant la CVD traditionnelle pour ioniser réagir le gaz, ainsi le plasma est produit. Le plasma de forte activité est réaction est dû accéléré au de forte activité du plasma. Ainsi, ce système s'appelle le PECVD.
Ce modèle est le produit le plus, il a synthétisé les avantages de la plupart des systèmes du tube PECVD, et a ajouté une zone de préchauffage dans l'avant du système de PECVD. Les essais ont prouvé que la vitesse de dépôt est plus rapide, la qualité de film est meilleur, les trous sont moins, et ne fendront pas. Le système de contrôle intelligent complètement automatique d'AISO est indépendamment conçu par notre société, il est plus commode d'utiliser et sa fonction est plus puissante.
Grand choix d'application : film de film métallique et en céramique, film composé, la croissance continue de divers films. Facile d'augmenter la fonction, peut augmenter gravure à l'eau forte de nettoyage de plasma et d'autres fonctions
 
 
Caractéristique principale :

• Taux de dépôt élevé de film : La technologie de lueur de rf, augmentant considérablement le taux de dépôt du film, le taux de dépôt peut atteindre 10Å/S
   
• Uniformité élevée de secteur : La technologie de alimentation multipoint avancée de rf, la distribution spéciale de chemin de gaz, et la technologie de chauffage, etc., font la portée 8% d'index d'uniformité de film
   
• Cohérence élevée : utilisant le concept de construction avancé de l'industrie de semi-conducteur, la déviation entre les substrats d'un dépôt est moins de 2%
   
• Stabilité de processus élevée : L'équipement fortement stable assure un processus continu et stable

 
 
Pièces de rechange standard :

• Branchement des PCs du tube 4
• PC du tube de four 1
• PC de la pompe à vide 1
• Ensembles de la bride 2 de fermeture sous-vide
• PC de la mesure de vide 1
• La livraison et pompe à vide de gaz
• Équipement de plasma de rf

 
Pièces de rechange facultatives :
 

• Bride de libération rapide, bride à trois voies
• 7 éboulis de contact de pouce HD

 
 
 
Le laboratoire PECVD a dédoublé des spécifications standard de four de tube :
 

 
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