Cylindre de guide de molybdène pour le four monocristallin de silicium
1. Description de cylindre de guide de molybdène pour le four monocristallin de silicium :
Le bouclier thermique de molybdène est un autre nom pour le cylindre de guide de molybdène. Les caractéristiques de conception une forme évasée avec une grande ouverture au dessus et à un petit trou au fond. Il y a de divers styles des ouvertures supérieures dues à différents fabricants des fours de monocristal. Le cylindre de guide de molybdène est de plus en plus très utilisé dans l'environnement de travail du four de monocristal. Quand il est employé, il est placé dans le tube guide traditionnel de graphite pour améliorer le taux de traction en cristal.
Des matériaux monocristallins de silicium sont produits par la production spécialisée des fours monocristallins de cristallogénèse de silicium. L'augmentation de la capacité de production de silicium monocristallin et la réduction du coût de production de silicium monocristallin sont des problèmes que les fabricants en cristal doivent résoudre pendant longtemps. L'augmentation de la vitesse de traction en cristal est l'un des moyens importants d'améliorer effectivement l'efficacité de production et de commander le coût de production.
L'introduction du cylindre de guide de molybdène dans le four de cristallogénèse de silicium de monocristal est une amélioration importante. Après à l'aide du cylindre de guide de molybdène, le gaz d'argon dans la partie supérieure du corps de four de cristallogénèse de silicium de monocristal devient lisse, l'écoulement de gaz d'argon est accéléré, et le dépôt de l'oxyde de silicium sur le four de croissance de silicium de monocristal est considérablement réduit. En raison de la protection de la température du tube guide de molybdène, le temps de chauffage est réduit, le temps de cristallisation se raccourcit presque de 35%, et l'incidence des dislocations en cristal est également réduite. Par conséquent, l'application du tube guide de molybdène réduit la consommation d'énergie et améliore l'efficacité de production.
2. dimensions et d'autres paramètres de cylindre de guide de molybdène pour le four monocristallin de silicium :
Environnement applicable et température applicable maximum : sous vide ou environnement inerte de protection contre les gaz, d'ici 1400 ℃ de molybdène pur, et d'ici 1800 ℃ d'alliage de molybdène-lanthane.
Pureté : molybdène pur ≥99.95%, alliage MLa (contenu 0.4~0.8% de molybdène-lanthane de La)
Norme : ASTM B386
La taille selon le dessin du client.
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