Avantages:
Caractéristiques:
| Configuration | ||||
| Résolution |
0.8 nm@15kv
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1.5 nm@1kv
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| Grossissement |
1x-3000000X
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| Accélération de la tension |
0,2 kV-30KV
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| Pistolet électronique | Pistolet d'émission de terrain Schottky | |||
| Étape automatique eucentrique de cinq axes | X: 0 ~ 150 mm | |||
| Y: 0 ~ 150 mm | ||||
| Z: 0 ~ 65 mm | ||||
| R: 360 ° | ||||
| T: -10 ° ~ 90 ° | ||||
| Spécimen maximum | 320 mm | |||
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Hauteur d'échantillon maximale
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90 mm
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