Composants de carbure de silicium de haute précision pour
processus de semi-conducteur et équipement optique de machines
Le bras robotique de carbure de silicium est constitué par le processus pressant isostatique et l'agglomération à température élevée. Selon les conditions des dessins d'étude de l'utilisateur, la taille, l'épaisseur et la forme peuvent être de finition pour répondre aux exigences spécifiques de l'utilisateur.
Le mandrin de vide de carbure de silicium est constitué par le processus pressant isostatique et l'agglomération à température élevée. Selon les conditions des dessins d'étude de l'utilisateur, la taille, l'épaisseur et la forme peuvent être de finition pour répondre aux exigences spécifiques de l'utilisateur.
Applications typiques
À la fabrication de semi-conducteur, des gaufrettes extrêmement minces sont placées sur des surgeons de vide de carbure de silicium, reliés à un générateur de vide, et les gaufrettes sont fixées par aspiration de vide.
Utilisé en lithographie, gravure à l'eau-forte, laser traitant, essai de gaufrette et d'autres processus.
Caractéristiques et avantages
Taille précise et stabilité thermique
Bonne conduction thermique, bas coefficient d'expansion et uniformité de la température
Extrêmement haut la résistance à l'usure et la finition de surface, taille fine de pore et distribution d'uniforme, peut être uniformément adsorbée à tous les secteurs de la gaufrette
Excellente résistance à la corrosion d'acide et d'alcali
Résistance à l'impact de plasma
Caractéristiques
Peut être adapté aux besoins du client selon le traitement de dessins de client.