Système de filtration d'eau industriel facile à installer Système d'eau ultra pure 90 t/h pour la préparation de produits chimiques de qualité électronique
I. Résumé
L'eau ultra-pure est une matière première indispensable dans la préparation de produits chimiques de qualité électronique (tels que des solutions de gravure de haute pureté, des photorésistes et des lisières CMP).Sa pureté affecte directement le contrôle des impuretés métalliques, la répartition de la taille des particules et la stabilité des lots dans les produits chimiques électroniques.
Dans la préparation de produits électroniques de qualitéles produits chimiques,L'eau ultra-pure est non seulement un solvant, mais aussi un environnement de réaction propre au niveau moléculaire (purification extrême, système antipollution, moteur performant).
II. Le processus
Eau brute → Prétraitement:UF + adoucissement → RO primaire → RO secondaire → Dégassage par membrane→ EDI → UV + dégradation TOC → Lit mixte ultra-précis ((Résine nucléaire de qualité) → Ultrafiltration terminale)).01 μm)→ Azot - Circulation scellée
III. Paramètres limites d'eau ultra-pure (norme SEMI C63)
Paramètre | Exigence standard | ||||
Résistance (25°C) | ≥ 18,24 MΩ·cm | ||||
CdT | < 0,1 ppb | ||||
Oxygène dissous (DO) | < 0,5 ppb | ||||
Particules (≥ 0,05 μm) | < 0,5 particules/mL | ||||
Traces de métaux | |||||
- Le Na+/K+ | ≤ 0,01 ppt | ||||
- Fe/Cu/Ni | ≤ 0,02 ppt | ||||
- C' est B. | ≤ 0,005 ppt | ||||
Anions (Cl−/SO42−) | ≤ 0,01 ppt |
IV. Scénarios d'application
Produits chimiques électroniques humides (acide fluorhydrique, eau d'ammoniac)
Matériaux de lithographie (EUV photoresist, développeur)
Slurry de polissage CMP (slurry de dioxyde de silicium/oxyde de cérium)
Solution de galvanoplastie
V. Voici une ligne directrice pour vous d'obtenir un devis approprié
Indiquez l'eau brute/la source d'eau ((eau du robinet, eau de puits ou eau de mer, etc.)
Fournir un rapport d'analyse de l'eau ((TDS, conductivité ou résistivité, etc.)
Capacité de production requise ((5m3/h, 50m3/h ou 500m3/h, etc.)
Quelle est l'utilisation de l'eau pure (industrielle, alimentaire et des boissons, ou l'agriculture, etc.)