I. Aperçu
L'eau ultra-pure (UPW) est un milieu essentiel pour maintenir la pureté du processus dans la fabrication de plaquettes. Sa qualité affecte directement le rendement et les performances des puces, ce qui en fait la « ligne de vie invisible » de la fabrication de plaquettes.
II. Processus
Eau brute → Pompe à pression d'eau brute → Filtre multimédia → Filtre à charbon actif → Adoucisseur d'eau → Filtre de précision → Osmose inverse primaire → Ajustement du pH → Réservoir d'eau intermédiaire → Osmose inverse secondaire → Réservoir d'eau intermédiaire → Pompe à eau intermédiaire → Système EDI → Réservoir d'eau purifiée → Pompe à eau pure → Stérilisateur UV → Filtre microporeux → Pasteurisation → Point d'eau
III. Caractéristiques du processus
Zéro pollution chimique tout au long du processus (EDI remplace la régénération acide-base)
Recyclage de l'eau concentrée, économie d'eau > 30 %
Contrôle synergique UV double des COT/microbes
Séparation de la température pour répondre aux différentes exigences du processus
IV. Paramètres
| Paramètre | Exigence de qualité des puces (≤7nm) |
||||
| Résistivité (25°C) | ≈18,24 MΩ·cm | ||||
| COT | < 0,5 ppb | ||||
| Particules (> 0,05 μm) | < 0,1 particule/ml | ||||
| Ions métalliques | < 0,1 ppt | ||||
| Oxygène dissous (DO) | < 1 ppb | ||||
| Bactéries | ≤0,01 UFC/ml |
V. Applications principales
Nettoyage des plaquettes
Polissage chimico-mécanique (CMP)
Gravure et dépôt de film
Refroidissement et eau fonctionnelle
VI. Voici un guide pour obtenir un devis approprié
Indiquez-nous la source d'eau brute (eau du robinet, eau de puits ou eau de mer, etc.)
Fournir un rapport d'analyse de l'eau (TDS, conductivité ou résistivité, etc.)
Capacité de production requise (5 m³/H, 50 m³/H ou 500 m³/H, etc.)
À quoi sert l'eau pure (industrielle, alimentation et boissons ou agriculture, etc.)