Système industriel de traitement de l'eau ultra-pure de 70 tonnes par heure pour l'industrie électronique
I. Résumé
L'eau ultra-pure (UPW) est la bouée de sauvetage de la fabrication de semi-conducteurs, de panneaux d'affichage et de circuits intégrés dans l'industrie électronique.On s'y appuie pour sa pureté extrême dans tout, du nettoyage à l'échelle nanométrique au dépôt au niveau atomique.Sa pureté affecte directement le rendement et les performances du produit.
II. Principaux procédés
L'eau brute→Prétraitement ((Coagulation + Sédimentation + Filtration)→RO primaire→RO secondaire→Dégassage→EDI→UV Stérilisation→Ultrafiltration→Pouvoir de mélange de polissage→Filtration finale→Sorte d'eau
III. Paramètres
Résistance | 18.2 MΩ·cm(25°C) | |||
CdT | 0.5 ppb | |||
Oxygène dissous | 5 ppb | |||
Taux de recouvrement de l'OR | >85% | |||
Taux de dessalement de l'OR | 990,50% |
IV. Le rôle central de l'eau ultrapure dans la fabrication d'électronique
Nettoyage des plaquettes
Gravure/lithographie
Polissage chimique mécanique
Implantation ionique
Oxydation des vapeurs
V. Voici une ligne directrice pour vous d'obtenir un devis approprié
Indiquez l'eau brute/la source d'eau ((eau du robinet, eau de puits ou eau de mer, etc.)
Fournir un rapport d'analyse de l'eau ((TDS, conductivité ou résistivité, etc.)
Capacité de production requise ((5m3/h, 50m3/h ou 500m3/h, etc.)
Quelle est l'utilisation de l'eau pure (industrielle, alimentaire et des boissons, ou l'agriculture, etc.)