Le support de cassette à plaquettes de 2 pouces est un dispositif de transport de précision spécialement conçu pour les industries des semi-conducteurs, de l'optoélectronique et de la micro/nano fabrication. Il est principalement utilisé pour maintenir, stocker et transporter en toute sécurité des plaquettes de 2 pouces (50,8 mm) ou des matériaux en couches minces. Fabriqué à partir de matériaux de haute pureté, il garantit un fonctionnement sans contamination et sans dommage mécanique lors des processus de fabrication, d'inspection ou expérimentaux. Sa conception standardisée assure la compatibilité avec divers équipements de semi-conducteurs (par exemple, machines de lithographie, systèmes de gravure et dispositifs de dépôt) et le rend largement applicable dans les laboratoires de recherche et les lignes de production industrielle.

Cassette à plaquettes de 2 poucesApplications principales

(1) Fabrication de semi-conducteurs

• Traitement des plaquettes : cassette à plaquettes de 2 pouces utilisée pour la fixation et le transfert des plaquettes dans des processus tels que la lithographie, la gravure et l'implantation ionique.
• Dépôt de couches minces : la cassette à plaquettes de 2 pouces sert de support de plaquettes dans les équipements de dépôt physique en phase vapeur (PVD) et de dépôt de couches atomiques (ALD).

(2) Fabrication d'optoélectronique et de MEMS

• Production de puces LED/laser : la cassette à plaquettes de 2 pouces contient des plaquettes de semi-conducteurs composés (par exemple, GaAs, GaN) pendant la fabrication.
• Fabrication de capteurs MEMS : prend en charge le traitement et l'inspection des systèmes microélectromécaniques à base de silicium.

(3) Recherche et utilisation en laboratoire

• Recherche en science des matériaux : sécurise les échantillons dans des instruments analytiques comme la diffraction des rayons X (DRX) et la microscopie électronique à balayage (MEB).
• Développement de nouveaux semi-conducteurs : facilite les processus expérimentaux pour les matériaux pérovskites et 2D (par exemple, graphène).

(4) Tests et emballage industriels

• Sondage de plaquettes : la cassette à plaquettes de 2 pouces offre un support stable lors des tests de performance électrique (par exemple, mesures IV/CV).
• Emballage de puces : la cassette à plaquettes de 2 pouces maintient temporairement les plaquettes pour les processus de découpe ou de liaison de puces.