Les spécifications
Numéro de modèle :
Une gaufre de quartz de 6 pouces
Lieu d'origine :
Chine
Quantité minimale de commande :
10
Conditions de paiement :
T/T
Capacité d'approvisionnement :
1000 pièces par mois
Délai de livraison :
5-8weeks
Détails de l'emballage :
Paquet dans une salle blanche de classe 100
Diamètre :
6 pouces (150 mm)
Tolérance à l'épaisseur :
± 0,02 mm
Variation de l'épaisseur totale :
≤10μm
Roughness de la surface :
Ra ≤ 0,5 nm
Le parallélisme :
≤3μm
Résistance :
> 1016 Ω·cm
Définition

Pourquoi choisir des plaquettes de quartz de 6 pouces ?

Les plaquettes de quartz de 6 pouces sont des substrats de haute précision et ultra-purs, largement utilisés dans les semi-conducteurs, l'optique et les MEMS (systèmes micro-électro-mécaniques). Leurs propriétés clés - notamment une pureté exceptionnelle, une dilatation thermique ultra-faible, une résistance à la traction élevée, une transmittance optique supérieure et des caractéristiques électriques uniques - les rendent indispensables pour la fabrication de précision et les dispositifs haute performance.


Aperçude la plaquette de quartz de 6 pouces

Plaquette de verre en cristal de quartz de 6 pouces de diamètre 150 mm, pureté 5N SiO₂

ZMSH est spécialisé dans la fabrication de plaquettes de quartz de 6 pouces, offrant :

Personnalisation multi-tailles : plaquettes standard de 6 pouces, ainsi que des variantes de 4", 8" et 12"

Traitement des bords : options pour les bords biseautés, les encoches et les méplats d'orientation

Traitements de surface : services personnalisés de polissage, de revêtement et de structuration


Paramètre pour la plaquette de quartz de 6pouces

Paramètre Spécification
Diamètre 6 pouces (150 mm)
Plage d'épaisseur 0,5 mm ~ 3,0 mm
Tolérance d'épaisseur ±0,02 mm
Variation totale d'épaisseur ≤10μm
Rugosité de surface (polie) ≤0,5 nm Ra
Parallélisme ≤3μm
CTE (20-300°C) 0,55×10⁻⁶/°C
Transmittance @193nm >92%
Résistivité >10¹⁶ Ω·cm
Compatibilité sous vide 10⁻¹⁰ Torr
Résistance à la flexion (renforcée) 500-700MPa


​​Propriétés clés​​ de la plaquette de quartz de 6pouces

Caractéristique Spécification technique
Haute pureté ≥99,999% de teneur en SiO₂
CTE (20-300°C) 0,55×10⁻⁶/°C (dilatation thermique ultra-faible)
Résistance à la traction 50-70 MPa (options renforcées chimiquement disponibles)
Transmittance optique >92% @190-3500nm (spectre UV à NIR)
Propriétés électriques Résistivité >10¹⁶ Ω·cm, coefficients piézoélectriques


​​Applications stratégiques​ de la plaquette de quartz de 6pouces

1. Fabrication de semi-conducteurs

Les plaquettes de quartz de 6 pouces sont largement utilisées dans l'encapsulation des semi-conducteurs, la fabrication de puces, et les domaines connexes, en particulier dans la production de :

- Puces mémoire(DRAM, NAND Flash)

- Dispositifs analogiques/de puissance(IGBT, MOSFET)

- Capteurs avancés(MEMS, capteurs d'image CMOS)

Plaquette de verre en cristal de quartz de 150 mm de diamètre (6 pouces) de pureté 5N SiO₂

2. Composants optiques

En raison de leur haute transmittance optique et de leur CTE ultra-faible, les plaquettes de quartz sont idéales pour :

- Lentilles de précision(asphériques, réseaux de microlentilles)

- Filtres optiques(passe-bande, dichroïque)

- Guides d'ondes(CI photoniques, éléments de couplage de fibres)

3. MEMS (systèmes micro-électro-mécaniques)

Les plaquettes de quartz servent de substrats de qualité supérieure pour les dispositifs MEMS en raison de leur stabilité dimensionnelle et de leur robustesse mécanique, notamment :

- Microsenseurs(pression, inertiels, biocapteurs)

- Micro-actionneurs(commutateurs RF, transducteurs piézoélectriques)

- Résonateurs(filtres 5G, dispositifs de synchronisation)

4. Écrans TFT-LCD en poly-Si haute température

Les plaquettes de quartz sont essentielles à la fabrication d'écrans haute performance, en particulier :

- Fonds de panier HTPS (High-Temperature Poly-Si) TFT

- Micro-écrans(AR/VR, LCoS)

- Panneaux LCD avancés(substrats d'encapsulation OLED)


Services de fabrication personnalisés de plaquettes de quartz de 6pouces

Plaquette de verre en cristal de quartz de 150 mm de diamètre (6 pouces) de pureté 5N SiO₂

Nous fournissons des solutions de bout en bout :

1. Sélection des matériaux : quartz JGS1/JGS2, silice fondue synthétique

2. Usinage de précision :

- Découpe laser (±5μm de tolérance)

- Perçage par ultrasons (rapport d'aspect 10:1)

3. Ingénierie de surface :

- Nano-polissage (Ra<0,3 nm)

- Revêtements antireflet DUV/IR

4. Assurance qualité :

- Traitement en salle blanche de classe 10

- Rapports de métrologie complets (TTV, gauchissement, courbure)


FAQ de la plaquette de quartz de 6pouces

1. Q : Quels sont les avantages des plaquettes de quartz de 6 pouces par rapport aux tailles plus petites dans la fabrication de semi-conducteurs ?

R : Les plaquettes de quartz de 6 pouces (150 mm) offrent 56 % de surface utilisable en plus que les plaquettes de 4 pouces, ce qui réduit considérablement les pertes d'exclusion des bords et améliore le débit pour l'encapsulation avancée et la production de MEMS.

2. Q : Comment la pureté des plaquettes de quartz (≥99,999 %) impacte-t-elle les processus à haute température ?

R : Le quartz de pureté 5N minimise les risques de contamination dans les processus de recuit HTPS TFT et de semi-conducteurs au-dessus de 1000°C, garantissant des propriétés diélectriques constantes.

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10
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Délai de livraison :
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Plaquette de verre en cristal de quartz de 150 mm de diamètre (6 pouces) de pureté 5N SiO₂
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8 Années
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Depuis 2013
Type d'entreprise :
Manufacturer, Agent, Importer, Exporter, Trading Company
Total annuel :
1000000-1500000
Niveau de certification :
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