Conçue avec précision pour les environnements sensibles à la contamination, cette vanne à gaz d'un pouce plus légère, contrôlée par les particules, vanne à gaz plus légère d'un pouce assure l'intégrité dans les systèmes de distribution de gaz critiques. Dotée d'acier inoxydable 316L-VAR avec une finition électropolie <0,5 Ra µm, cette vanne à gaz de haute pureté atteint les normes de particules de classe 1/ISO 2 pour les gaz de procédé des semi-conducteurs. La conception de joint conique auto-alignant élimine le contact métal sur métal, empêchant la génération de particules pendant plus de 100 000 actionnements. En tant que vanne de gaz de laboratoireScénario d'application:Points clés:

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Éprouvée en usine: 0,1μm par litre (par IEST RP CC001.6)<5 particles>✓
Éprouvée en usine: Taux de fuite d'hélium de 1x10⁻⁹ atm-cc/sec✓
Éprouvée en usine: Passivation selon la méthode à l'acide nitrique ASTM A967✓
Éprouvée en usine: Conception de tige anti-résonance✓
Éprouvée en usine: Conforme à la norme SEMI F72, vanne de gaz de laboratoireScénario d'application:

Dans une salle blanche de semi-conducteurs, les techniciens installent des vannes à l'aide de compteurs de particules pour vérifier l'absence de contamination lors de la mise en service des conduites de gaz pour la fabrication de puces de 5 nm.
FAQ:

Q : Quelle certification de particules est fournie avec cette vanne à gaz de haute pureté ?

R : Rapports IEST-CC0016 Classe 1 avec données de distribution de particules de 0,1 à 5,0μm.
Q : Vos

vannes de gaz de laboratoire sont-elles compatibles avec les dopants toxiques ?R : Oui, conçues pour les gaz SEMI S2 Catégorie 1 avec une compatibilité complète des matériaux.
Q : Puis-je intégrer la surveillance des particules sans interruption du processus ?

R : Oui, les orifices d'échantillonnage permettent une vérification in situ conforme à la norme ISO 14644-1.
Q : Quelles sont les performances de dégazage ?

R :
<1x10⁻⁹ g/cm²/sec TML/CVCM selon NASA-STD-6001B.Q : Fournissez-vous des protocoles de contrôle de la contamination pour l'installation ?

R : Kits d'installation détaillés conformes à la norme ISO 14644-5 disponibles.