transducteur de pression de 627B-15789 627B15789 MKS

Détails de produit

Caractéristiques

Température de fonctionnement de capteur de 150°C et de 160°C

Tout-Inconel capteur de capacité

Estimation de surpression de haut 45 lb/p0 carré a. pour la stabilité et la répétabilité améliorées

Le design compact adapte les petits espaces

relais de processus à semi-conducteur Interne-montés pour le contrôle externe

Représentation à long terme dans la CVD de nitrure et gravure à l'eau forte en métal

Caractéristiques

Type : Transducteur de pression

Type de capteur : Manomètre de capacité

Type de mesure : Absolu

Chaînes de pression complètes : 1, 2, 3, 5, 10, 20, 100, 1000 torr

Gamme complète : 0,01% de complet

La température de capteur : Commandé à 150°C ou à 160°C

Exactitude : 0,25% de lecture

Protocole de transmission : EtherCAT®

Sortie analogique : 0 à 10 volts continu dans la charge de l'ohm >10

Connecteur analogue : 15 goupille D-subminiture

Relais de voyage : Le voyage de processus intérieurement monté de la pression deux transmet par relais indépendamment réglable de 0,5% à 100% de la gamme complète

Coefficient de température zéro : versions 150°C : 0,004% versions 160°C de FS/°C (0,008%/°C complets pour 1 torr de gamme) : 0,008% FS/°C (0,016%/°C complets pour 1 torr de gamme)

Coefficient de température d'envergure : 0,02% Reading/°C

Temps de réponse : 50 millisecondes

Temps d'échauffement : 4 heures

Volume interne : 6,3 cc

Température de fonctionnement ambiante : 15° à 50°C

Limite de surpression : 45 lb/p0 carré a.

Alimentation électrique : +24 volts continu ou ±15 volts continu, 1 ampère au début

Au sujet de MKS

Notre technologie permet aux futurs associés d'instruments de MKS avec des clients dans le contrôle de l'environnement, la défense et la sécurité, les sciences de la vie et la recherche, le processus et la fabrication industrielle, et les industries de la couche mince de développer les solutions d'inauguration à leurs défis de technologie plus durs.

Notre travail permet à nos clients d'être plus réussis, et à nos sociétés d'être plus sûres et plus productives.

MKS Instruments, Inc est le chef mondial dans des solutions de technologie pour les marchés que nous servons. Nous faisons les instruments, les sous-systèmes et les solutions à régulation de processus qui permettent à nos clients de mesurer, commander, actionner, surveiller et analyser les paramètres critiques des processus avancés qu'ils contrôlent.

La probabilité est grande que vous possédiez ou avez consommé un produit qui a été rendu possible par notre technologie.

Nos personnes sont les solutionneurs de problèmes parmi les meilleurs du monde, opérant au bord d'attaque de la science, de l'ingénierie et de la technologie. Nous avons une histoire glorieuse d'innovation industrie-changeante et nous la soutenons avec une infrastructure globale de soutien qui s'assure que nous sommes là pour vous dans tout le cycle de vie de nos solutions.

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